Устройство для изготовления интерференционных фильтров Советский патент 1976 года по МПК G02B5/28 G02B1/00 

1

Изобретение относится к области изготовления многослойных оптических покрытий.

Известны устройства для изготовления интерференционных фильтров, содержащие вакуумную камеру и установленные в ней подложкодержатель, выполненный -в виде диска, несущего на себе несколько концентрических рядов оптических подложек, совершающих планетарное вращение, источник испаряемых веществ и фотометр со сменными фильтрами и с приемным устройством.

Однако известные устройства не позволяют контролировать с большой точностью толщину наносимых слоев каждого ряда подложек.

Для контроля толщины наносимых слоев каждого ряда подложек и повыщения точности контроля перед подложками установлены экранирующие лепестки, кинематически связанные с приводным механизмом, а приемное устройство фотометра установлено в направляющих с возможностью перемещения и фикС1фования в точках, расположенных против каждого ряда подложек.

На чертеже представлена конструкция устройства для изготовления интерференционных фильтров.

Устройство содержит подложки 1 и 2, подложкодержатель 3, щестерню-опразу 4, диск 5 с концентрическими рядами отверстий, щеСтерню 6, экранирующий лепесток 7, испаряемое вещество 8 с низким показателем преломления, испаритель 9, вращающийся ввод 10, приемное устройство 11 фотометра, кассету 12, контрольные узкополосные фильтры 13 и 14, фотоприемник 15, ввод 16 вращения в вакуум, испаряемое вещество 17 с высоким показателем преломления, шестерни 18 и 19, лампы 20 накаливания, неподвижные шестерни 21 и 22 и фиксатор 23.

Работает устройство следующим образом.

После зарядки подложек 1 и 2 в подложкодержатели 3 и шестерни 4, а испаряемых веoiecTB в испаритель 9 вакуумная камера, в которой находится устройство, откачивается вакуумными насосами до давления Ю- мм рт. ст. Приемное устройство фотометра устанавливается в иоложение, при котором контролируется толщина пленок, наносимых на подложки 1, а экранирующие лепестки 7 отводятся внутрь, открывая эти подложки. Далее включается двигатель, приводящий через ввод 16 и систему шестерен 6, 18 во вращение диск 5.

При вращении диска 5 щестерни 19 и 4 обкатываются ПО неподвижным шестерням 21 и 22, в результате чего подложки 1 и 2 совершают планетарное вращение вокруг оси испаряемого вещества 17.

После этого устанавливают перед фотоприемником 15 контрольный узкополосный

фильтр 14 на длину волны A,i, включают лампы накаливания и ведут измерение коэффициента пропускания подложек 1 в процессе испарения вещества 17 с высоким показателем преломления (например ZnS). По мере роста толщины пленки коэффициент пропускания уменьшается и достигает минимального значения при оптической толщине пленки Па, - А,/4.

В этот момент подложки 1 перекрывают экранирующими лепестками 7 и выключают испаритель вещества 17. Далее приемное устройство фотометра устанавливают в положение, при котором ведется контроль толщины пленок, наносимых на подложки 2. Включается испаритель 9, и на подложки 2 наносят дополнительный слой вещества до тех пор, пока оптическая толщина пленки не станет равной Xi/4.

Аналогично осуществляют напыление на подложки 1 и 2 пленки вещества 8 с низким показателем преломления, предварительно

установив его с помощью вращающегося ввода 10 на оси вращения диска 5.

Формула изобретения

Устройство для изготовления интерференционных фильтров, содержащее вакуумную камеру и установленные в ией подложкодержатель, выполненный в виде диска, несущего на себе несколько концентрических рядов оптйческих подложек, совершающих планетарное вращение, источник испаряемых веществ и фотометр со сменными контрольными фильтрами и с приемным устройством, отличающееся тем, что, с целью контроля толщины наносимых слоев каждого ряда подложек и повышения точности контроля, перед подложками установлены экранирующие лепестки, кинематически связанные с приводным механизмом, а приемное устройство фотометра установлено в направляющих с возможностью перемещения и фиксирования в точках, расположенных против каждого ряда подложек.