1
Изобретение относится к технологическому оборуаованию для ироизводства радиодетален, в частности лри изготовлении полупроводниковых приборов.
Известны кассеты для ианесения пленки на илоокие пластины, нренмуществеино при изготовленин полупроводниковых приборов, содержащие iKopnyc, основание с размещенпой на нем упругой подложкой и элемб ты крепления.
Одиаасо известные «кассеты не обеспечивают необходимое качество нанесения пленки, так как между пластинами образуются зазоры, и пленка, проникая в зазоры, образует иптс-ьм: на боковых сторонах пластины.
С целью повышения качества нанесгния пленки в предлагаемой кассете элемемть крепления вы1По.Л1нены в виде чередую цихся на поверхности упругой подлож ки наклонных к основанию и к Продольной оси симметрии кассеты выступов и каиавок, с образованием ромбообразных фигур, нричем высота и ширина выступов находятся в отношении и ,
где Л-высота выступов, b-ширина пластии, а - ширина выступов.
На фиг. 1 показана предлагаемая кассета в разрезе; на фиг. 2 - вид сверху с сечением по А-А.
Кассета для нанесения пленки на плоские
2
пластины содержит металлический корпус 1, осиова.пие 2, на .которСМ размещена упругая подложка 3, в теле последней выполнены чередующиеся наклонные к основанию и к продолькой оси сштетрии канавки 4 и вы.:тупы 5, являющиеся э,:е-ме ;тами крепления и рас1положе«ные втортгчио vo.iiin отиосител-.но других с образованием рсмбосбраз;1Ых фигур 6 с общим иентро, созр.алающим с гс-ол1етрическим центром корпуса кассеты. Через верншны ромбосбразных 6 и по ;5ссй рабочей поверхяост;, оЗразопанНО) cnopi bi: ni площадкамп 7 выступов 5, выполнены параллельные продольные канаВКи 8, -л бина которых одина кова с глхбиной н; лЛО1П ых канавг/к 4. На )нругой размещены рядами прямоу.гольные плоские пластины 9, на которые наJicceiia лента 10 сгеклосуспснзин при помощи рабочего органа 11 с yнpyгI : осг.оваилсм, нанример пресса (па -ертсже не показан), обеспечгзающео раЗо-се усилие :р11жима иленки iK пластине.
Описываемая -кассета работает с едующим образом.
Кассета стапав.1ивается на рабочую позицию с загружСНными в нее рядами пластинам 1 9. затсМ на пластины накладывается лента 10 стсклосуспсизт :. к рабочему органу 11 прпкладызаетсл предварительное усилие, прижимающее пластины одно к ДРУГОЙ. За счет
этого усилия выступы 5 упругой -подложки 3, деформируясь налравленио s Сторону их угла «аклона к осиованию, -перемещают размещек1иые на их опорных площадках 7 ас геометрическому центру кассеты до тех пор, пока не устранятся имеющиеся зазоры жак между отдельными пластинами в рядах, так и межд) рядами. Рабочи м усилием ирижимают плевку к :пластинам, выдерживают давление заданное время, а :затем снимают нагрузку. Та:к«ак адтезия ленты 10 с пластина1ми 9 выше, чем с упругим основанием рабочего органа, то налИПаиня пленки к рабочему органу не пронсходит.
Пластины -с на-иесеЕио:: на нмх пленк-ой iroрегружаются на кассеты для дальнейших олсрй1ций. Для обеспечения независимого нчднвид алы-1ого перемещения каждой пластины ширина выступа кассеты не л-олжиа -иревындать ширины пластины, т. е. . Минимальная величина выступа должна обеспечивать устойчивое размеще-ние -пластины на его опорной площадке 7. -Высота выстуиа определена из того условия, -что iHpH -приложении -предварительного усилия на -пластины с наложенной на ;ннх нленкой, например, стеклосуспензрш, устранение зазора было бы полным, однако -при увеличении усилия до ра-гочего предела, обеспечивающего нанесение пленки, дальнейшая допол.нительная 1деформация не нарушает взаимного расположения лластин. Угол наклона выступов IK основанию выбирается из того расчета, что нри приложенном усилии .параллельность опорной нлощадкн 7 выстугаов 5 к основанию 2 остается все время постояиной.
Для беззазорного сжатия пластин жак в рядах, так н Л1е-жду необходн.мо, что|б1ч каждая пластина нод действием приложенного усилия -иерзмещалась ио направлению к
геометрическому центру кассеты. Это возможно только при соответствую-щем угле наклона выступов к продольной оси кассеты, 1который определяется отношением -ширииы пластины к
ее длиие I, т. е. , при этом чем меньше
ширина пластины Ь, тем .меньше угол наклона выступов, а че.м меньше длина /, тем больше угол. Предельное значение угла будет в том случае, копда длина и ширина пластины станут равными Ь 1 (квадрат), тогда , .
Ширина канавок не н.меет принципиального значення и предназначена для обеспечения необходимой напра-вленной деформацин выступов. Продольные канавки 8 ул чшают условне деформацин выступов, и их число регла1ментируется только о-беснеченив.м условий независимого перемещения каждой пластины.
Фор м ;i а н 3 о б р е г е н н я
Кассета для нанесения -плеики на плоские пластины, преи-мущ-ественно при изготовлении полупров-С|д;1иховых «приборов, содержащая корп- с, основание с размещеип-ой на кем упр.угой нод;;о /кой, н элементы крепления, от1II ч а ю IU а ; с я те-м, что, с целью повыи1ения качества панссснпя нленки, эле.мепты крепления выполнены в виде черед ю-щихся на новерхпости ;. -другой нодложки наклонных к оснсвапню и к продольной оси симметрии кассеты выступов и канавок, с образованном ро.мбообразных фигур, приче.м высота и ширина выступов нахо-дятся в соотно-шении
и , где /г-высота выступов; b - -ш и р и н а п ласт ни; а - ширина выступов. 9 10 11 I 4 да f5 Ч J / /„ 
Pv;.i
