Способ изготовления электрохимических измерителей тока во времени Советский патент 1976 года по МПК H01G9/22 

351 Кроме, того, для компенсации отрицательного температурного коэффициента прЬзрачноро слоя резистивный слой на изолированном участке наносят из материала с положительным температурным коэффициентом, например из нихрома. На фиг. 1 изображен известный счетчик машинного времени; на фиг. 2 - получ емый предлагаемым способом измеритель тока во времени с частичными разрезами. Известные счетчики машинного времени содержат ртутный кулометр, выполненный в виде стеклянной трубки 1 с капиллярным отверстием, содержащим обратимую окислительно-восстановительную электро|химическую систему. При изготовлении счетчика к выводам кулометра подключают шунтирующую цепь из балластного резистора 2, резистора 3 делителя и последовательного для цепи кулометра нагрузочного резистора 4. Все элементы вьшолняют на отдельной плате, иа которую наносят и шкалу 5. По предлагаемому способу на наружную п верхность стеклянной капиллярной трубки 1н носятсоли олова. Слой 6 двуокиси олова, прозрачной для видимого света и имеющий значительное электрическое сопротивление, наносят на стекло, нагретое до температуры, близкой к температуре трансформации ,(340°С), пульверизацией раствора хлорного олова или обдуванием парами хлорного олова. В обоих случаях на стекле образуется пленка двуокиси олова. Если при пульверизации применяют кислород вместо воздуха, то сопротивление пленки уменьшается, азот приводит к образованию пленки с удельным сопротивлением порядка килоом Добавление хлористой сурьмы повышает про зрачность пленки, благоприятно действует на стабильность электрического сопротивления. Удельные сопротивления покрытий могут изменяться в зависимости от введения в хлористое олово добавочных компонентов. Операцию нанесения прозрачного резистивного слоя целесообразно вьшолнять циклично несколько раз, каждый раз заменяя полученнук величину сопротивления. Число циклов нанесения слоя сообразуют с необхо димой заданной величиной электрического сопротивления. Последовательное нанесение слоев производят неравномерно по всей длине трубки так, чтобы ближе к контактным пояскам число нанесенных слоев было больше. Получаемая пленка имеет отрицательный температурный коэф1{)ициент и предназначе на для использования в качестве шунтирую шей цепи из резисторов 3 и 4. Пропорционально величинам этих резисторов делят длину трубки на соответствующие отрезки и в полученных точках обозначают границы контактных поясков 7, 8 и 9. Пояски наносят способом металлизации, например напылением. Для формирования резистивного слоя последовательного включения, проводят сначала ,подготовительную операцию, заключающуюся в нанесении электроизо1яционного слоя ДО, ; например, методом конденсации монрЪкйсй ;кремния. Слой 10 наносят между поясками 7 и 9 так, чтобы оставить свободными только внешние кромки контактных поясков и полностью закрьггь поверхность, образующую сопротивление. На подготовленную поверхность изолирующего слоя наносят резистивный слой 11 так, чтобы с одной стороны покрыть свободную контактную поверхность пояска 9, не выходя на слой 6. Поскольку номинал сопротивления достаточно велик, а размещен он на небольшой длине, образуют его из материала высокого сопротивления, например металло.органическсЦелесообразно для компенсации влияния . отрицательного температур1рго коэффициента прозрачного резистивного слоя последовательный резистивный элементнаносить из резистивного материала, обладшэщего положительным температурным коэффициентом, например из нихрома, методом напыления. Затем необходимо нанести металлизированный поясок 12, служащий для соединения выводов схемы с последовательным резистором, образованным слоем 11. Таким образом, на поверхности стеклянной трубки кулометра оказалась собранной вся электрическая измерительная схема. Следующая операция заключается в нанесении на прозрачную часть слоя 6 делений шкалы, например, фотолитографией. После этого заполняют капилляр компонентами электрохимической системы 13-14, герметизируют выводы 15, 16 и электрически соединяют эти выводы с контактными поясками 7 и 8. Вывод 16 имеет выводной контакт, вьцолненный в виде штьтря, а к контактному пояску 12 фипаивают другой выводной контакт 17, вьтолненньй в ; иде трубки. Эти выводные контакты образуют цоколь для крепления прибора. зобретения Формула 1. Способ изготовления электрохимических-измерителей тока во времени, вкшочающий операции заполнения стеклянной caпилляpнoй трубки электролитами,

|ния в нее электродов и ; г(|рметизации, под;;ключевия к выводам электродов резистив, ных элементов измерительной схемы и на, несения отсчетной шкалы, отличаю;щ и и с я тем, что, с целью возможности автоматизации процесса изготовления, по вышения н&ежности и уменьшения габари1тов получаемых изделий,, резистивные эяе iMeij u наносят на поверхность стеклянной |к(пиллярной трубки перед ее заполне1Шем, для чего осаждают сначала хлорид метал ла, образуощего резистивную пленку, прозрачную для видимого спектра, затем на полученный слой наносят металлизацией контактные пояски, ширину н положение ког1торых выбирают в соответствии с заданным соотношением сопротивлений резистивных ; элементов, изолируют участок капиллярной

трубки и наносят на него следующий peaiu: |тлвный слой с контактным пояском, после {чего на прозрачном участке кариллярндй трубам выполняют отсчетную шкалу.

2. Способ поп. 1, отличаю ш и и с я тем, что прозрачный резистивный слой наносят по длине трубки последо ательно несколько раз, увеличивая количество слоев в зоне контактных поясков.

( - 3. Способ по пп. 1 и 2, о т л и ч а ющ и и с я тем, что, с целью компенсации отрицательного температурного коэффициент та прозрачного слоя, резистивный слой на изолированном участке наносят из материала с поло;кительным температурным коэффициентом, например из нихрома.

||1 ||ПМ|||||||Ц|||1Ч|||||

Rd

0

KS

т I

г

Ф(г.1

Фи9.2