Устройство для нанесения покрытий в вакууме на рулонные материалы Советский патент 1976 года по МПК C23C13/10 

Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может использоваться для вакуумного отжига или химико-термической обработки металлов в контролируемой атмосфере.

Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме на рулонные материалы, содержащее камеру металлизации, внутри которой установлены испаритель и нагревательные элементы, затвор, отсеки перемотки, соедииенные с камерой металлизации; механизм подачи лситы в камеру, включаюишй направляющие, смонтированные в камере металлизации, и каретку с роликами, установленными по ее краям, и механизм фиксации каретки. Каретка выполнена неразъемной и снабжена двусторонним затвором, укрепленным в ее центре. При большой длине зоны испарения затвор, перемещаясь вместе с кареткой над 1-орячим металлизатором, может нагреваться п ИОртить уплотнение при коитакте с пим.

Цель изобретения - повышение качества покрытий путем поддержания стабильного вакуума в камере при использова тии протяженных испарителей.

Поставленная цель достигается тем, что устройство снабжено доиолнительным затвором, причем затворы укреплены между камерой металлизации и отсеками перемотки, каретка выполнена из двух частей с возможностью их

взаимного зацепления по месту разъема, а механизм фиксации каретки - в виде толкателей и расположенных в камере металлизации упоров.

На фиг. 1 изображено описываемое устройство; на фиг. 2 - разрез по А - А на фиг. 1.

Устройство состоит из камеры металлизации 1, испарителя 2, нагревательных элементов 3, отсеков перемотки 4, 5, механизма подачи ленты в камеру, включающего направляющие 6, каретку с роликами 7, 8, выполненную разъемной с возможностью взаимного зацепления частей 9, 10 по месту разъема, вакуумных затворов 11, 12, и механизма фиксации каретки, выполненного в виде расположенных в камере металлизации 1 упоров 13, 14 и толкателей 15, 16. Части 9, 10 каретки снабжены элементами зацепления 17. В отсеках иеремотки 4, 5 смонтированы разматывающий 18 и наматывающий 19 механизмы с роликами 20.

Устройство работает следующим образом.

Для подачи ленты в металлизациониую камеру I из отсека 5 конец металлизированной ленты в отсеке 4 жестко фиксируется в разматывающем механизме 18 с одновременным утапливанием фиксирующих упоров 14, при этом состыкованные части 9, 10 каретки с помощью лепточиой петли, обхватывающей ролик 8, перемещаются по направляющпм 6 до

толкателя 15 с упором, втягивая при этом ленту 21 из отсека 5. Затем происходит расстыковка частей 9, 10 и часть 9 каретки лентой 21 возвращается до фиксирующих упоров 13. Металлизация ленты осуществляется путем протяжки ее над испарителем 2 с помощью перемоточных механизмов 18 и 19 и роликов 20 и 8.

Для перезарядки ленты отсек 4 отсекается от камеры 1 вакуумным затвором 11. После перезарядки ленты и создания в камере требуемого вакуума открывается затвор 11 и толкателем 15 с упором часть 10 каретки проталкивается до стыковки с частью 9. Дальнейшие операции повторяются без нарушения вакуума в камере металлизации 1 и при непрерывной работе испарителя 2.

При малой прочности ленты с целью предотвращения ее обрыва или деформации в процессе перезарядки части 9 и 10 каретки снабжены приводами для перемещения 22.

Для охлаждения ленты перед смоткой один из роликов 20 механизма смотки каждой камеры может быть водоохлаждаемым.

Поочередная металлизация ленты с двух отсеков 4, 5 перемотки без остановки испарителя 2 делает процесс металлизации практически непрерывным.

Формула изобретения

Устройство для нанесения покрытий в вакууме на рулонные материалы, содержащее камеру металлизации, внутри которой установлены испаритель и нагревательные элементы, затвор, отсеки перемотки, соединенные с камерой металлизации, механизм подачи лепты в камеру, включающий направляющие, смонтированные в камере металлизации, и каретку с роликами, установленными по ее краям, и механизм фиксации каретки, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий путем поддержания в камере стабильного вакуума при использовании протяженных испарителей, оно снабжено дополнительным затвором, причем затворы укреплены между камерой металлизации и отсеками перемотки, каретка выполнена из двух частей с возможностью их взаимного зацепления по месту разъема, а механизм фиксации каретки - в виде толкателей и расположенных в камере металлизации упоров.

Фиг. 1

..-6- ДГ;::

1 - - -HNM- - -h- i ;i-Ц

--%

ft , .

1ii™i Hi1fi 1,....ЖП|

27г/г.2