Установка для обработки лен-ТОчНОгО МАТЕРиАлА B ВАКууМЕ Советский патент 1981 года по МПК C23C13/08 

t

Изобретение относится к вакуумной технике ,и предназначено для технологической обработки в вакууме ленточных рулонных материалов, например, для снятия фоторезиста в процессе изготовления микроэлектронных изделий,

Известна установка для нанесения покрытий в вакууме на рулонные ма- . териалы, содержащая камеру металлизации, внутри которой установлены испаритель и нагревательные элементы, затворы, отсеки перемотки, соединенные с камерой металлизации, механизм подачи ленты в камеру, включакяций направляющие, смонтированные в камере металлизации, каретку с роликами, установленными по ее краям, и механизмы фиксации каретки. Затворы закреплены между камерой металлизации и отсеками перемотки,- каретка выполнена из двух частей с возможностью их взаимного зацепления по месту разъема , а механизм фиксации в виде толкателей и расположенных в камере металлизации упоров tU.

Недостатком этого устройства являет.ся сложность конструкции и Кинематики механизмов подачи ленты и ее фиксации, сложность вакуумных вводов для приводов этих механизмов, недостаточная эффективность вакуумирования, приводящая к нарушению требований вакуумной гигиены.

Наиболее близкой по технической сущности к предлагаемой является установка для обработки ленточного материала в вакууме, содержащая рабочую и шлюзовую каме2|Ы, вакуум0ные затворы, размещенные попарно на рабочей и шлюзовых камерах,механизм перемещения ленточного материала t2j.

Недостатком установки является

5 сложность конструкции.

Цель изобретения - упрощение конструкции.

Цель достигается тем, что в установке для обработки ленточного ма0териала, содержащей рабочую и шлюзовые камеры, вакуумные затворы, размещённые попарно на рабочей и шлюзовых камерах, механизм перемещения ленточного материала выполнен

5 в виде двух различных по весу роликов , размещенных в шлюзовых камеpax на поверхности ленточного материеша с возможностью вертикального перемещения под собственным весом и

0 кинематически соединенные с вакуумными затворами рабочей и шлюзовых камер.

На фиг. 1 показана схема предлагемой установки;на фиг. 2 - то же, рабочее положение.

Установка содержит рабочую вакуумную камеру 1, сообщающуюся посредством управляемых уплотнителей 2 и с загрузочной шлюзовой камерой 4 и разгрузочной шлюзовой камерой 5. Вокруг камеры 1 расположен индуктор б , образуклций плазму для снятия фоторезиста с поверхности протягиваемого через нее ленточного материала 7 со смоточного шпинделя 8 на намоточный шпиндель 9, снабженный приводом вращения (не показан).Шлюзовы камеры 4 и 5 сообщаются через управляемые уплотнители 10 и 11 с окружающей атмосферой. Обрабатываемая в вакууме лента проходит от смоточного шпинделя 8 к намоточному шпинделю 9 через загрузочную шлюзовую камеру 4, внутри которой на входе и выходе/соответственно в зоне уплотнителей 10 и 2/установлены направляющие ролики 12 и 13, через вакуумную камеру 1 и разгрузочную камеру 5, внутри которой на входе и выходе, соответственно в зоне уплотнителей 3 и 11, установлены направляклцие ролики 14 и 15.

Устройство снабжено механизмом шагового перемещения ленточного материала 7, который выполнен в виде двух подающих роликов 16 и 17,установленных на поверхности ленточного материала 7 соответственно в загрузочной камере 4 между направляющими роликами 12 и 13 и в разгрузочной KciMepe 5 между направлякяцими роликами 14 и 15 с возможностью свободног перемещения под собственной силой тяжести. Масса подающих роликов выбрана такой, что усилие давления на материал ролика 16 в загрузочной камере 4 достаточно для преодоления сил трения, возникающих при смотке ленточного материала б со шпинделя и его протяжке в загрузочной камере 4 , а усилие давления на материал ролика 17 в загрузочной камере 5 больше усилия давления на этот материал ролика 16 в загрузочной камере 4 на величину, превышающую силу тяжести ролика 16 и суммарную си$у трения, возникающую при перемещении материала через загрузочную 4, рабочую 1 и разгрузочную 5 вакуумные камеры.

Управляемые уплотнители 2,3,10 и 11 шлюзовых камер 4 и 5 выполнены с возможностью попарного периодического открытия то со стороны.рабочей вакуумной камеры 1 (уплотнители 2 и 3),то со стороны атмосферы (уплотнители 10 и 11).

Для создания вакуума в рабочей камере 1 и промежуточного вакуума ;

в шлюзовых камерах 4 и 5 установка снабжена системой вакуумирования (не показана).

Установка работает следующим образом.

Управляемые уплотнители 2 и 3 закрываются и герметизируют вакуумную камеру 1 со стороны загрузочного и со стороны разгрузочного илюзов 4 и 5, управляемые уплотнители 10 и 11 открываются и шлюзовые камеры 4 и 5 сообщаются с атмосферой. Ленточный материал 7 неподвижн зафиксирован в вакуумной камере 1, где он подвергается технологической обработке в плазме, возбуждаемо индуктором 6, удаляющей с ленточного материала 7 фоторезистивный слой.

Подающий ролик 16 под собственной силой тяжести опускается в нижнее положение. Ленточный материал 7 сматываясь со шпинделя 8, протягивается в загрузочную шлюзовую камеру 4 в виде петли, образованной между направляющими роликами 12 и 13 подводящим роликом 16.

Приводимый во вращение намоточный шпиндель 9, преодолевая силу тяжести подакяцего ролика 17 и возникающие силы трения, протягивает обработанный ленточный материал из разгрузочной камеры 5 через открытый уплотнитель 11 в атмосферу,при этом ггетця, образованная между направляющими роликами 14 и 15 подающим роликом 17, выбирается и ролик 17 занимает крайнее верхнее положение. При открытых уплотнителях 10 и 11 ваку умные насосы поддерживают рабочий вакуум в камере 1. После протяжки ленточного материала 7 в загрузочную камеру 4 и на выходе из разгрузочной камеры 5 в этих камерах производится откачка роздух до степени, близкой к разрежению в рабочей камере 1. Управляемые уплотнители 2 и 3 на входе невыходе рабочей вакуумной камеры 1 открываются и освобождают ленточный материал 7, который под действием силы тяжести подающего ролика 17 протягивается на шаг в виде петли,образованной между направляющими роликами 12 и 13 подакадим роликом 16 в загрузочной шлюзовой камере 4, выбирается в рабочую вакуумную камеру 1, а ролик 16 занимает крайнее верхнее положение.

Затем уплотнители 2 и 3 закрываются. В камере 1, герметизированной от камер 4 и 5, создается . необходимый рабочий вакуум и после окончания технологического времени обработки поданного в камеру 1 участка ленточного материала 7 цикл работы повторяется.

Положительный эффект от предлагаемой установки выражается в прототе ее конструкции и упрощении управления шаговыми перемещениями обрабатываемого материала.

Использование установки позволит увеличить эффективность и снизить время откачки шлюзовых камер за счет сведения к минимуму возможности натекайия воздуха из-за отсутствия вакуумйых вводов для привода механизма перемещения ленточного материала, что обеспечивает дополнительную возможность соблюдения высоких требований вакуумной гигиены в процессе изготовления изделий микроэлектроники.

Формула изобретения

Установка для обработки ленточного материала в вакууме, содержащая рабочую и шлюзовые камеры, вакуумные затворы размещенные попарно на рабочей и шлюзовых камерах, механизм перемещения ленточного материала, отличающаяся тем, что, с целью упрощения конструкции, механизм перемещения ленточного материала выполнен в виде двух различных по весу роликов, .размещенных в шлюзовых камерах на поверхности ленточного материала с возможностью вертикального перемещения под собственным веoсом и кинематически соединенные с вакуумными затворами рабочей и шлюзовых камер.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

5

1.Авторское свидетельство СССР № 515833, кл. С 23 С 12/10, 1976.

2.Авторское свидетельство СССР № 515834, кл. С 23 С 13/10, 1976

. (прототип).