Накопитель матричного типа Советский патент 1976 года по МПК G11C11/40 

тельные контактные площадки, электрически соединенные между собой.

На чертеже представлена схема предложенного устройства.

Накопитель образован в виде матрицы, содержащей т строк и п столбцов, с общим количеством т-п элементов. Координатные шины строк и столбцов оканчиваются контактными площадками. Контактные площадки на координатных шинах по строкам сгруппированы в к групп по количеству зондов по строкам и в / групп по количеству зондов по столбцам: AI-Ak - k групп координатных шин по строкам;

AI -соответствует первому зонду по строкам;

Ли - /с-му зонду по строкам; - / групп координатных шин по столбцам;BI - соответствует первому зонду по

столбцам; BI - /-му зонду столбцам.

В каждой группе - находится - координатных шин по строкам. В каждой группе BI-BI

находится -- координатных

каждой

шин по столбцам. На продолжении координатной шины по строкам имеется контактных площадок, соединенных электрически между собой, а на продолжении каждой

т

координатной шины по столбцам имеется-:-

контактных площадок, электрически соединенных между собой.

Зонды устанавливаются на площадках так, чтобы при перемещении головки с зондами или столика с пластиной вдоль одной из осей (вдоль строк или столбцов), не происходило выхода зондов за пределы контактных площадок любой из координатных шин. Одно (например, первое) положение зондов отмечено на рисунке точками в центрах контактных

площадок. При каждой такой установке зондов на контактные площадки накопителя имеется возможность выбрать для измерения любой из АХ/ подключенных элементов накопителя, не перемещая зонды, а производя только их электрическое переключение. Каждое следующее перемещение зондов или столика с пластиной вдоль столбцов (или строк) заключается в переходе каждого из зондов в строках (или столбцах) на соседнюю шину, при этом все зонды по столбцам (или строкам) перемещаются на следующую контактную площадку той же координатной шины. Одно из возможных положений зондов (например, второе, т. е. следующее за положением, указанным точкой) отмечено на рисунке крестиком. Оно означает переход к новой координатной шине по строкам при той же координатной шине по столбцам. При этом выбираются сле0 дующие kxt элементов. Для измерения всех

/и V , «

элементов потребуется -;- X -г- перемекI

щений зондовой головки или столика с пластиной, при этом каждый зонд устанавливается 5 па контактную площадку только один раз.

Предложенное устройство дает возможность использования автоматических зондовых установок без перестройки зондов, так как каждая контактная площадка используется только один раз. Этим обеспечивается возможность использования напыленных контактных площадок, не выдерживающих многократного контактирования.

Формула изобретения

Накопитель матричного типа, содержащий координатные шины с контактными площадками и полупроводниковые элементы, расположенные в перекрестиях координатных шин, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности работы устройства, каждая координатная шина содержит дополнительные контактные площадки, электрически соединенные между собой.

с то л 5ей,

EHIb---CbtS - , jlgg-j.-gjл, Гйьп----ч1ЯI &D-V-Q

Ш;: 1, ГЕЬП-- -СЯ

31-E-Q-.

рсь.-.-о

к|

I I

I /kLrLJ- -LH-

,

ффф СПИ opi |фд Pi

|l : : i : : : i : : :

iiiiiiil

2 ,. 2L

Ii-J

6,5,Bi

Строка,

ml