Криогенный конденсационный насос Советский патент 1977 года по МПК F04B37/08 

1

Изобретение отноеится к области вакуумной техники.

Известен криогенный конденсационный насос, содержащий корнус, соединенный с откачиваемым объемом вакуумпроводом, л размещенную внутри корнуса криопанель, подключенную к 11сточн:ику хладагента 1. В известном насосе имеет место градиент температуры на поверхностях крпопапели п вакуумпровода, который приводит к процессу перекоидеисации газа с более теплых частей криопанели на более холодные, что увеличивает время достижения предельного вакуума пасоса.

Известен и другой криогенный конденсационный насос, содержащий размещенную внутри гелиевого сосуда Дьюара камеру, в которую введен вакуумпровод 2. Однако и в этом насосе имеет место градиент температуры на поверхности вакуумпровода, что влечет за собой переконденсацию газа внутри насоса и увеличение времени достижения предельного вакуума.

Цель изобретения - сокращение времени достижения предельного вакуума. Это достигается тем, что участок вакуумпровода, расположенный внутри камеры, выполнен из высокотеплопроводного материала, например медн, и заключен в кожух с вакуумной изоляцией. Участок вакуумпровода, расположеннын за пределами камеры, помещен в сосуд с жидким азотом, а камера герметично соеД1 нена с кожухо.м в зоне горловины гелиевого сосуда.

На чертеже изображен насос, нродольный разрез.

Внутри корпуса 1 насоса размещен азотный экран 2, охлаждаемый жидким азотом, и гелиевый сосуд Дьюара 3 с расположенной внутри камерой 4. В камеру 4 введен вакуумпровод 5, участок которого, расположенный внутри камеры 4, выполнен из вьтсокотеплопроводного материала, например медн, п заключен в кожух б с вакуумной изляцией. Для уменыиения расхода гелия участок вакуумпровода 5, расположепньп за пределами камеры 4, помещен в сосуд 7 с жидким aзoтo, а камера 4 герметично соединена с кожухом 6 в зоне горловины гелиевого сосуда Дьюара 3.

Насос работает следующим образом.

В азотный экран 2 и сосуд 7 заливают жидкий азот, а в гелиевый сосуд Дьюара 3 - жидкий гелий. Огкачиваемый газ, охлажденный в вакуу.мироподе 5 до температуры, близкой к температуре жидкого азота, поступает в камеру 4 ij конденсируется на ее стенках.

В результате насос работает без перекоиденсацин, что сокрап;ает время достижения предельпого вакуума. 3 Формула изобретения 1.Криогенный кондепсациоиныИ насос, содержащий pa.iMCHieHHvio внутри гелневого сосуда Дыоа)а камеру, в которую введен вакуумнровод, отличающийся тем, что, с целью €0кран1,ення времени достижения предельного вакуума, участок вакуумлровода, расположенный виутр:И камеры, выпоЛПен из высокотенлопроводного материала, 1ап)имер меди, н заключен в кожух с вакуумной изолЯЦией. 2.Насос ио и. 1, о т л и ч а ю и. и и с я тем, что, с целью уменьи1еиня |расхода гелия. участок вакуум провода, расположённый зи пределами камеры, помещен в сосуд с жидким азотом. 3. Насос ио и. 1, от л и ч а ю щ и н с я тем, что камера герметично соединена е кожухом в зоне горловнны гелневого сосуда. Источники информации, принятые во ви 1маиие при эксиертизе: 1.Патент Англии Л 1170824, кл. F , 19Г)7. 2.Журиал технической физики „No 7 Л «Наука 1971, с. 1528 -1530