Измерительный зонд Советский патент 1977 года по МПК G01R1/67 G01R31/28 

3

вости содротивления толканию его создает апериодические невоспроизводимые скорости пвре1мещ1е:ния зонда.

Цель изобретения - повышение точности измерения удельного сопротивления.

Это достилается тем, что измерительный зонд, преимущественно для измерения параметров микросхем, выполненный в виде игольчатого щупа, размещенНОГО на держателе, сосдиненно м с механизмом перемещения щупа и механизмом подъема и опускания щупа в виде CTipyiHbi, закрепленной иа регулируемой планке, сзязанной с лчеханизмом перемещения щупа, снабжен соединенной с механизмом перзмещгния щ-упа рам1кой, две параллельные стороны которой выполнены в виде ленточных пружии, закрепленных с натягом между ее б.оковыми полками, и стаканом, внутри которого размещена страша механизма подъема и опускания щупа, закрепленная в его донной части, сна1бж1е,иной выступом, причем держатель расположен на одной из боковых полок рамки с возможщостыо взаимодействия с выступом дойной части стакана, открытая часть которого по йредст1вом пружины соединена с механизмом перемещения щупа.

На чертеже изображен описываемый измерительный зонд.

Иэмерительный зонд содержит игольчатый щуп 1, жестко закрепленный в держателе 2 винтом 3. Держатель 2 через изолирующую прокладку 4 установлен на боковой полке 5 рамки и удерживается иа ней винтом 6. Две горизонтальные параллельные стороны рамки выполнены в виде ленточных пружин 7, закрепленных с натягом между боковыми полками, имеющих ребра жесткости S и соединенных с качающейся подвеской 9 механизма перемещения щупа. Боковая иолка 5, ленточные пружины 7 и подвеска 9 образуют пружинный параллелограмм, стороны которого, выполненные из пружин 7j в 4 раза больще боковых полок. Винт 10, служащий для регулирО Вки натяжения пружин 7, установлен иа боковой иолке 5 рамки и опирается на ;выступ 11 донной части стакана 12, на которой закреплена струна 13 механизма подъема и опускания щупа, размещенная внутри стакана 12.

Стакан 12 расположен внутри р.амки между пружинами 7 и закреплен открытой своей частью при помощи пружины 14 на подвеске 9. Жесткость пружины 14 ъ Q раз больше жесткости пружины 7. Струна 13 проходит через отверстие 15 в подвеске 9 и с помощью крележного узла 16, выполненного из электроизоляционного материала,закреплена на подвижной регулируемой планке 17, один конец которой шарнирно связан с подвеской 9, а другой опирается на регулировочный ви-нт/5. Винт/S регулирует натяжение струны 13. Струна 13 через массу из м рительиого зонда и токоподводящий проводник 19 подключена к источнику тока и находится в разогнутом состоянии. Для проведения измерения отключается источник тока, струна 13 охлаж|дается, укорачиваясь при этом. Напрягая пруж1ину 14, выступ 11 движется вниз. Вместе с ним под действием сил .в напряженных пружинах 7 перемещается вниз щуп 1 до соприкосновения с микросхемой, установленной на предметном столике (на чертеже не изображен). В момент постано1В|К1и щупа / на микросхему боковая полка 5 с ВИНТОМ 10 прекращают движение, а выступ 11 продолжает двигаться вниз до полного остывания и укорачивания струны 13. Происходит разрыв механической связи винта 10 с выступом 11. Механизм подъема и опускания щупа отключился от держ1ателя щупа на время измерения.

После проведения измерения струна 13 подключается к источнику тока и начинает удлиняться. Напряженная при опускании щуп-а / пружина 14 восстанавливается и увлекает вверх выступ 11, который входит в соприкосновение с винтом 10 и снимает щуп / с микросхемы. Устройство возвращается в исходное состояние.

Формула изобретения

Измерительный зонд, преимущественно для измерения параметров микросхем, выполненный в виде игольчатого щупа, размещенного на держателе, соединенном с механизмом перемещения щупа и механизмом подъема и опускания щупа в виде струны, закрепленной на регулируемой планке, связанной с механизмом перемещения щупа, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения удельного сопротивления, он снабжен соединенной с механизмом перемещения щупа рамкой, две параллельные стороны которой выполнены в виде ленточных пружин, закрепленных с натягом между ее боковыми полками, и стаканом, внутри которого размещена струна механизма подъема и опускания щупа, закрепленная в его донной части, снабженной выступом, причем держатель расположен па одной из боковых полок рамки с возможностью взаимодействия с выступом донной части стакана, открытая часть которого посредством пружины соединена с механизмом перемещения щупа.

Источник информации, принятый во внимание при экспертизе изобретения:

1. Авторское свидетельство СССР № 266873, кл. G 01 R 1/06, 31.12.1968 - прототип.