Контактирующее устройство Советский патент 1979 года по МПК H05K1/04 G01R1/06 

I

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в устройствах для контроля интегральных схем.

Известны контактирующие устройства, в которых держатель зонда для контрол.я микросхем выполнен в виде кронштейна, на котором закреплены рычаг в виде упругой балки П-образного сечения, консольно закрепленной на кронштейне, и пружина нагружения - в виде изогнутого стержня, расположенного вдоль рачата, один конец которого упирается в рычаг, а другой закреплен на кронштейне .

Однако в таком устройстве недостаточна продольная и поперечная жесткость держателя зонда и возникают боковые смещения зонда нри регулировке нагружения.

Известен измерительный зонд для контроля микросхем, выполненный в виде игольчатого щупа, размещенного на держателе, соединенном с механизмом перемещения щупа и механизмом подъема и опускания щупа в виде струны, закрепленной на регулируемой планке, связанной с механизмом перемещения щупа. Зонд снабжен рамкой, соединенной с мехапиз.мом перемещения щупа, две параллельные стороны которой выполнены в виде пружин и щуп, одним концо.м жестко закреплен на корпусе, а другим на упругом элементе, выполненном с возможностью перемещения в вертикальном направлении 2.

Однако измерительный зонд не обладает достаточной поперечной жесткостью при контактировании, так как две плоские пружины обеспечивают только продольную жесткость, не устраняя вибрацию зонда при перемещениях его в вертикальной плоскости. Механизм нагружения зонда при регулировке давления не исключает бокового смещения последнего, т. е. в конструкции отсутствуют элементы ограничения величины бокового смещения. Кроме того, подвеска стакана при помощи пружины значительно ухудшает жесткость системы, что не исключает возможности автоколебаний в свободно подвещенной упругой системе под действием собственных колебаний и внешних возмущающих воздействий. Все это приводит к ухудщению качества контактирования и увеличению переходных сопротивлений пары зонд-контактная площадка и усложняет конструкцию.