(54) ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Ионно-геттерный насос | 1983 |
|
SU1102408A1 |
| Способ откачки газов и электродуговой испарительный насос | 1983 |
|
SU1152433A1 |
| Электродуговой испаритель | 1978 |
|
SU693988A1 |
| Комбинированный вакуумный насос | 1982 |
|
SU1034099A1 |
| Вакуумный сорбционный насос | 1987 |
|
SU1492082A1 |
| ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ НАСОС ДЛЯ ОТКАЧКИ ГАЗОВ | 1964 |
|
SU164921A1 |
| Способ управления скоростью распыления материала в геттерном насосе и устройство геттерного насоса | 2017 |
|
RU2661493C1 |
| МАГНИТНЫЙ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС | 1985 |
|
SU1321310A1 |
| Сорбционный вакуумный насос | 1975 |
|
SU528386A1 |
| Комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос | 1980 |
|
SU943920A1 |
1
Изобретение относится к вакуумной технике.
Известна вакуумная установка, содержащая испаритель геттера, охлаждаемую сорбционную поверхность, расположенную между испарителем и Охкачиваемым объемом.
В известной установке загрязнение рабочего объема геттером вследствие нашичия вторичного излучения, возникающего в результате рассеивания молекул при их взаимных столкновениях.
Известна также вакуумная установка, содержащая герметичный корпус и подвижный охлаждаемый сорбционный элемент
Данная установка является наиболее близкой к изобретению.по технической сущности и достигаемому результату.
Однако из-за ограниченной пропускной способности молекул газа через охлаждаекый экран и сорбционный элемент эффективность откачки j невелика..
Целью настоящего изобретения является повышение чистоты создаваемого вакуума. .
Для этого сорбционный элемент, установлен с торца корпуса и с внешней стороны снабжен охлс1Ждае1Лз1м экраном, в нише которого расположен испаритель геттера.
На чертеже изображен продольный разрез вакуумной установки.
Вакуумная установка содержит герметичный корпус 1 и подвижный охлаждаемый сорбционный элемент 2, который установлен с торца корпуса 1 и с внешней стороны снабжен охлаждаемлм экраном 3, в нише которого расположен испаритель 4 геттера. В корпусе 1 установлены также экран 5 и контактирующий с экранами 3 и 5 сосуд 6 для хладагента, в котором расположен насос 7 для откачки инертных газов.
В корпусе 1 создается разрежение с помощью вспомогательного насоса (на чертеже на показан). По достижении некоторого давления ( ) охлаждаемые экраны 3 и 5 и являющийся их частью сосуд 6 заполняются жидким азотом, после чего начинается распьшеиие геттера включением испарителя 4.
Распыленный геттер осаждается в вид тонкой пленки на элементе 2, непрерывно перемещающемся из эоны распыления в рабочий объем. При этом за счет теплового контакта со стенками сосуда б элемент 2 и нанесенный на нем слой геттера охлаждаются и последний начинает активно поглощать молекулы газа, находящиеся в рабочем объеме установки. Одновременно с откачкой геттером основных газовых срставляю{4их воздуха происходит адсорбция инертных газов насосом 7, запуск которого в связи с медленным охлаждением сорбционного материала не ;колько запаздывает по сравнениюс началом распыления геттера, что даёт воз;можность полнее использовать сорбцион.ную емкость насоса для откачки инертных газов. Высокая чистота создаваемого вакуума в установке обеспечивается отделением зоны распыления геттера от .абочего объема узким и длинным канаЧ /
I4-I
II
лом изогнутой формы, образованным охлажденными поверхностями экрана 3 и сорбционного элемента 2.
Формула изобретения
Вакуумная установка,, содержащая гер ютичный корпус и неподвижный охлаждаемый сорбционный элемент, отличающаяся тем, что, с целыо повышения чистоты создаваемого вакуума, сорбционный элемент установлен с торца ксфпуса и с внешней стороны снабжен охлаждаемым экраном, в нише кото рого расположен испаритель геттера.
V
