Зондовая головка для устройства контроля Советский патент 1977 года по МПК H05K1/04 

Изобретение относится к радиотехнике и может использоваться в устройствах контроля и измерения микросхем. Известны зондовые головки для устройств контроля, содержание эластичное основание с закрепленными на нем контактами, прижимаемыми к контактным площадкам микросхемы 1. Однако при малом расстоянии между контактами площадь их незначительна, и поэтому трудно обеспечить необходимое контактное давление, так как оно зависит от площади контакта. Цель изобретения - обеспечение надежности контактирования при уменьшении расстояния между контактами. Это достигается тем, что предлагаемая зоидовая головка для устройства контроля снабжена упорами, размещенными с другой стороны эластичного основания над соответствующими контактами с возмол ностью взапмодействия с механизмом прижима. На фиг. 1 и 2 изображена предлагаемая зондовая головка (разрез по А-А и вид сверху); на фиг. 3-разрез по Б-Б на фиг. 1. Зондовая головка для устройства контроля содержит эластичное оспование 1 в виде фольгировапной пленки, на иижней стороне которой размещены контакты 2 и проводники , упоры 4, расположе-нпые на верхней сторо е эластичного основанпя 1 над соответствугощп.ми контактами 2, закрепленные на осях 5, пленочную мембрану 6, столик 7, штуцер 8. унлогнпюп1ую прокладку 9. Предлагаемая зондовая головка работает след1юп1пм образом. При откачке воздуха через штуцер 8 плгночная мембрана 6 под действием атмосферного давления прижимает упоры 4 к пленке оснозання 1, обеспечивая необходимое контактное давление за счет палсима на соответствующий контакт. Поджим упоров 4 может быть осуществлен также е помощью давления воздуха на мембрану 6 от пневмонасоса или без мембраны с помощью пружин. Упоры 4 могут быть выполнены в виде пластик, перемещающихся прямолинейно. Формула изобретен и я Зондовая головка для устройства контроля, содержащая эластичное основание, на нижней стороне которого размещены контакты п механизм прижима, отличающаяся тем, что, с пелью обеспечения надежности коитактирования прп уменьшении расстояния контактами, она снабжена упорами, размещенными с другой стороны эластичного основания над соответствующими контактами с возможностью взаимодействия с механизмом прижима.

Источники информации, иринятые во внимание нри эксиертизе

1. Авт. св. СССР Л 301624, кл. Н 05К 3/00, 12.04.69.

Б-S