Раствор для травления железоокисных слоев Советский патент 1975 года по МПК C23F1/04 

1

Изобретение относится к области химической обработки металлов и материалов, в частности к области химического травления железоокисных слоев нрн изготовлении фотошаблонов.

Известен раствор для травления железоокисных слоев, содержащий соляную кислоту н хлорное железо.

Иредлагаемый раствор отличается от известного тем, что в его состав введен йодистый калий при определенном соотношении компонентов.

.Это способствует повышению качества травления, в частности качества конфигурационного рисунка фотошаблонов, изготовленных травленршм наныленных железоокисных слоев.

Соотношение комнонентов в растворе таково, вес.%:

30-95

ат)

1-20

1-20

Остальное

В данном растворе эффективно производят травление железоокисных слоев для изготовления фотошаблонов, применяемых в фотолитографии.

Пример. На полированную стеклянную пластинку напыляют железоокисный слой

толщиной 1000 А. Затем для изготовления коифнгуранионного рисунка фотошаблона на железоокисный слой накладывают фоторезистовую маску н осуществляют травление незащищенного железоокисного слоя при комнатHoii температуре в растворе состава, вес.%:

Соляная кислота

70

(уд. вес 1,19) Хлорное железо

5 5

(кристаллогидрат) Рюдистый калий

Остальное Вода

Раствор готовят из реактивов марки ЧДА на бндистиллнрованной воде. Скорость травления железоокисного слоя

о

составляет 15-20 А-сек. Процесс травления завершается через 50-70 сек.

Растворение железоокнсного слоя происходит равномерно и не сопровождается подтравливанием коифнгурацнонного рисунка.

Полученный фотошаблон отличается больщнм разрешением (ширина линий 1мкм), высокой четкостью и точностью воспроизведенн5; элементов: клнн травлення и уход размеров не обнаружнваются (,1 мкм). 3 Предмет изобретения Раствор для травления железоокисных елоев, содержащий соляную кислоту и хлорное железо, отличающийся тем, что, с целью 5 повышения качества травления, в его состав вводят йодистый калий при следующем соотноше ши компонентов, вес.%: 4 Соляная кислота (уд. вес. 1,19)30-95 Хаооное л елезо скпиртяпппгилпят1 1 П (кристаллогидрат) 1-20 Йодистый калий 1-20 Вода Остальное