Устройство для химической обработки деталей Советский патент 1977 года по МПК C23G3/00 

1

Изобретение относится к области химической обработки деталей с сообщением им вибрации в жидкой среде.

Известно устройство для обработки деталей, содержащее ванну и приводные шпиндели, обеспечивающие вращательное и колебательное движения размещенных на иих обрабатываемых деталей 1. Однако это устройство малоэффективно, поскольку обрабатываемым деталям сообщается периодически одно из указанных движений.

Известно также устройство для химической обработки деталей, содержащее ванну и съемный стол с элементами крепления кассет для размещения обрабатываемых деталей и центральиым валом, кинематически связанным с приводом . Указанное устройство позволяет значительно повысить производительность обработки деталей за счет совмещения вращательното и колебательного движений.

Одним из общих недостатков известных устройств является то, что они не обеспечивают качественной обработки деталей, например полупроводниковых пластин при травлении и последующей промывке.

Цель изобретения - повышение качества обработки путем интенсификации перемещения деталей относительно рабочей жидкости. Это достигается тем, что съемный стол выполнен в виде нлаиетарного редуктора с фиксированным Центральным колесом, а элементы крепления кассет - в виде цанговых шпинделей, установленных в шестернях-сателлитах планетарного редуктора.

На чертеже показано предлагаемое устройство.

Устройство содержит ванну 1 с пробкой 2 для слива рабочего раствора, центральный вал 3, соединенный через кулачковую муфту 4 с выходным валом 5 редуктора 6, кинематически связанного с электродвигателем 7. Нижний диск 8 кзлачковой муфты 4 жестко соединен с корпусом редуктора 6, а верхний диск 9 через палец 10 и втулку 11-с центральным валом 3, при этом втулка 11 выполнена с продольным пазом на длину вертикального хода центрального вала 3, который жестко связан с планетарным редуктором 12. Последний имеет полое центральное колесо 13 и шестерни-сателлиты 14, в которые установлены цанговые шпиндели 15 для крепления кассет 16. Центральное колесо 13 зафиксировано стопорным пальцем 17 о выступ 18.

Устройство работает следующим образом.

За.гружают кассеты 16 с обрабатываемыми деталями и закрепляют их в цанговых шпинделях 15, после чего планетарный редуктор 12 фиксируют с центральным валом 3 так, чтобы стопорный палец 17 зашел за выступ 18. Заливают ванну 1 рабочим раствором и вклю