Интерферометр для контроля качества изображения по дифракционной точке и измерения волновых аберраций оптических систем Советский патент 1977 года по МПК G01B9/02 

Контрастность изображения низка за счет вредных рефлексов. Указанные недостатки не noaBjn.qioT произ водить контроль качества оптических систем на всех стадиях ях производства, включая сборку, а также снижают точность измерения волновых аберраций. Для контроля качества оптических систем на всех стадиях их производства, включая сборку, а также повышения точности измер& ния волновых аберраций передние фокусы объектива коллиматора и объектива системы наблюдений совмещены, а интерферометр сна( жен вогнутым зеркалом с дифракционным отверстием, устанОвленнь1м в плоскости совме- щения, и поляроидом, расположенным за окуляром системы наблюдения. . На чертеже дана оптическая схема прёдлэ гаемого интерферометра. Он содержит коллиматор, состоящий из осветителя, включающего оптический квантовый генератор 1 и линзу 2, иа объектива 3 и ирисовой диафрагмы 4; вогнутое зеркало 5 интерференционную ячейку, выполненную из пластин 6-8, линзы 9 и полусферы 10; сиеЧему наблюдения, в которую входят .объевтив , линза 12, окуляр 13 и поляроид 14. Вместо окуляра 13 в системе наблюдении может быть установлена линза 15 и винтовой окулярный микрометр 16. Предлагаемый интерферометр работает следующим образом. На вогнутой алюминированной поверхнос ти зеркала 5 выполнено дифракционное о-рверстие, которое освещено через линзу 2 сфокусированным плоскополяризованным пугком света из оптического квантового генератора 1 непрерывного действия. Сферическая световая волна, возникающая на дифрак ционном отверстии, распространяется в боль шом телесном угле и попадает в объектив 3 коллиматора и в объектив 11 системы наблюдения. После объектива 3 волна npoxtvдит через диафрагму 4 И плоскопараллельную пластинку -J- 7, вырезанную из кристаллического кварца и имеющую разность хода (2П + l)-j- . Размер диафрагмы 4 равен диа метру зрачка контролируемого объектива 17 Пластинка -4-- 7 ориентируется так, что угол между ее оптическсТй осью и плоскостью, в которой происходят колебания электрическо го вектора прямолинейно поляризованного па дающего светового пучка, составляет 45 , В ячейку Фабри-Перо попадает плоская пол ризовайная по кругу световая волна, которая пройдя контролируемый объектив 17, фокусируется на плоской поверхности полусферы 10, отрази ся от внешней алюминиро анной поверхности полусферы и пройдет вновь чере объектив. Прямой и отраженный луч за счет тражения DT :форичрскс й ппвпрхиости Ю роходит через одни и тот же участок ибъок- тиво 17, (.)тр/)ж«11иыо nungftnautifiUHue по кру- v плоские волны, MOfiea пластит ку Ilpeвpalлn JTcя в плоскополяризованные олны и o6bf;KTHBOM 3 фикусирукзтся ил вогщ-ой понерхиости аерколп 5, днукрат} 1 о прохождения через пластинку--- .плоскость оляризйнии oтf)/lжeиlIЫx ролн поворачивается относительно исходной волны на 90 . ОтразиБшис;ь от поверхности аоркала 5, волны из интерфепенниоиной ячейки вместе с дифраги- рпваниой волной попадают в объектив 11 сис темы наблюдения и линзой 12 фокусируются b фокальной гшоскости окуляра 13. Поляроид 14 гасит прямой дифрагированный свет, поэтому изображения дифракционной точки - от нижней поверхности пластины 8 и от сфер ческой поверхности полусферы 10-имеют максимальную интенсивность, а изображение дифракдионной картины - максимальную яркость. Изображение дифракционной точки от сфериче кой поверхности портится за счет двукратного прохождения световой волны через контролируемый объектив 17. Для наблюдения и измере)1ия волновых аберраций объективов имеете система, соо« тояшая из линзы 15, которая пере рует дифракционную картину, локалкои. лную в плоскости диафрагмы 4, в плоскость измерительной сетки винтового окулярного микрометра 16. Волновые абберации наблюдают и измеряют с учетом того, что иэ-за дв кратного прохождения света через микрообъектив одна 1штерферениионная полоса соответствует разности хода i . Для контроля объективов, рассчитанных на иную длину тубуса, вводят, лиизы 0 с соответствующими фокусными расстояниями. Формула изобретения Интерферометр для контроля качества изображения по дифракционной точке и измерения волновых аберраций шггических систем, например объективов и линз микроскопов, содержащий коллиматор, имеющий лазерный осветитель и объектив, интерферени ционную ячейку, выполненную из пластин и полусферы, и систему наблюдения, включающую объективы и окуляр, о т л и ч а ю- ш и и с я тем, что, с целью контроля качества оптических систем на всех стадиях их производства, включая сборку, а также повышения точности измерения волновых аберраций, передниефокусы объектива кол лиматора и объектива системы наблюдения совмещены, а интерферометр снабжен вог нутым зеркалом с дифракционным отверс-