Способ измерения давления газа Советский патент 1977 года по МПК G01L21/34 

1

Изобретение относится к обпасти измерения вакуума в готовых электровакуумных приборах и может быть использовано при измерении давления остаточных газов в вакуумных магнитоуправляемых контактах,

Известны способы измерения давпения газа в двух эпектродных вакуумных приборах, основанные на испопьзовании эпектродов прибора при эпоктронной эмиссии с одного из эпектродов LU

Известен также способ измерения давления газа в двухэлектродном вакуумном приборе, основан 1ый на приложении высокого напряжения к электродам и измерении времени восстановления высокого напряжения к электродам и измерении времени осстапоьтения автоэлектронного тока с ранее , созданных микрсх;копических центров эмиссии до первоначальной величи 1ы после нарушения равновесного газового покрытия на электроде. Это время является мерой давления остаточного газа в объеме, где находятся электроды С2 Однако этот способ практически

2

неприменим для измерения вакуума в магш тоуправлкемых .контактах. 2то обусповлено тем, что пр шожение достаточно БЫСОКОГО напряжения к подвижным электродам приводит к их сбпиж8 1ию под действием здектросгатической силы аротяжения и возникновению э11ёкг|шческаго пробоя, npiiaoasimero к разрушению эмиссионных центров и изменению автозиектрошюго тока независимо ог давления остаточного газа. Создание MvsKpo-

скопических дентроп автоэлектронной эмиссии на поверхности эпекгродов вакуумных магииуправпяемых контактов принципиапьно iieaoпустимо, так как это существенно нарушает работу магнитоуправляемых контактов.

Цель I изобретения - возможность измерения давления остаточных газов в отпая ныхвакуумных Д агпитоуправляемых контактах. Это достигается тем, что атектроды ма нитоуправляемого контакта, разомкнутые в исходном состоянии, замыкают с помощью магнитного патя и измеряют переходное сопротивление контактов в момент ихзамыкани являющееся параметром взаимодействия молекул остаточного газа С поверхностью элект родов и, соответственно, мерой давления. Давление Р определяют ио формуле «пер., где Rftep - переходное сопротивление. На чертеже изображена усредненная зависимость переходного сопротивления от дав ления остагочных газов для вакуумного ма нитоупрашшемш о контакта типа МКА 52Ш. Переходное сопротивление при контактир вании контак-п-деталей магнитоуправляемого контакта измеряем помощью моста Р-316 с точностью 0,2%. Давление остаточного га за измеряли вакуумметром ВИТ-2П с манометрическими датчиками ПМТ-2 и ПМИ-2. Из графика видно, что повышение давления остаточных газов Р в интервале -10 мм рт,ст. увеличивает перехо ное сопротивление . эта зависимость может иметь вид R«ep , где К - коэффициент пропорциональности зависящий от конструкции прибора и матери ала контактного покрытия контакт-деталей. Увеличение переходного сопротивления связано с возрастанием толщины сорбированной пленки газов на контактирую1ЦИХ плоскостях при увеличении давления Р. Предлагаемый сисюоб ихэволяет измерять вакуум, т.е. оценивать качество приборов как в процессе технологическохо цикла из1 итовления, так и н процессе длительного хранения; не требует разработки дополнительной аппаратуры и использует аппаратуру для контроля параметров контакта. Формула изобретения Способ измерения давления газа в двухэлектродном электровакуумном приборе, основанный на регистрации параметров процеоса взамиодействия молекул остаточных газов с поверхностью электродов, отличающийся тем, что, с целью возможности измерения давления в магнитоуправляемых контактах, измеряют переходное сопротивление контактов в момент их замыкания и по формулеR«ep,Kegp, где переходное-сопротивление;К - коэффициент пропорциональности; Р - давление газа, определяют давление газа. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе: 1.Авторское свидетельство СССР № 518663 кл. G 01 L 21/ЗО, 1974. 2.Патент ГДР№ 88670, кп. GO1L,21/3O, 1972.

u

51

ib

О

(Ц

о