Симметричный объектив с увеличением 1 Советский патент 1977 года по МПК G02B11/34 

1

Изобретение относится к оптическим системам. Оно может применяться в фотографии, а также в микроэлектронике в установках проекционного экспонирования и совмещения.

Известен симметричный объектив, предна наченный для аналогичных целей. Он работает с увеличение м-1 , числовой апертурой 0,056 и полем зрения 2у 1,56/состоит из двух групп линз расположенных симметрично относительно диафрагмы. Каждая группа содержит два положительных мениска и один отрицательный, обращенные всигнутостями к плоскости диафрагмы.

Объектив, разработанный фирмой (ФРГ), работает в режиме однократного увеличения с апертурой 0,125, полем-зрения 58 мм. Он состоит из двух идентичных линзовых групп, разделенных диафрагмой. Каждая группа содержит четыре менисковых компонента, три простых мениска идвусклеенный, обращенные вогнутостями к диаф.рагме.

Ближайшим аналогом является двенадцатилинсовый объектив, выполненный также

из двух одинаковых групп линз, симметрично расположенных относительно диафрагмы. Группа содерясит три компонента, положительную двухсклеенную линзу, положительный и отрицательный трехлннзовый мениски, обращенные вогнутостями к диафрагме. Объектив работает в режиме 1:1, имеет поле зрения 48,6 мм и апертуру 0,125.

Обшим недостатком перечисленных объективов является качество изображения, не удовлетворяющее требованиям микроэлектроники, причем у симметричного объект1геа маленькая апертура, а у двенадцатилинзового объектива - малое пале зрения.

Цель изобретения - расширить поле зрения, улунщить качество изображения и ахроматизировать объектив на две рабочие области 436 нм и 546 нм.

Это достигается тем, что в каждую группу линз объектива вводятсяположительный мениск, установленный между отрицательным мениском и диафрагмой, обращенный выпуклостью к диафрагме, н отрицательный двухлинзовый мениск, склеенный из флинта и тяжелого крона с равными показателями преломления и разными дисперсиями, расположенный междуположительной линзой и положительным мениском, обращенный вогнутостью к диафрагме, причем отрицатольный мениск состоит из двух линз, склеенных из флинта и тяжелого крона с равными показателями и разными дисперсиями, и обращен выпуклостью к диафрагме,ja положительная линза выполнена одиночной. Суть изобретения поясняется чертежом, где : приведена оптическая схема .: объектива Объектив состоит из четырнадцати линз 1-7, собранных в две одинаковые линзовые ,,г „-- -.. группы, расположенные симметрично относительно апертурной диафрагмы 8. Каждая группа содержит пять компонентов (9-13).. Компонент 9 представляет собой положительную линзу 1 из сверхтяжелого крона с соотношением радиусов 1:19. Компонент 10 - отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к диафрагме, склеен из двух менисков 2, 3, выпопненных из фли та и тяжелого крона, разность показателей преломления которых не превышает 0,0065 при сильно обличающихся дисперсиях. Радиус склеиваемойповерхности . .является хромати ческим. Компонент 11 - положительный мениск 4 с равными радиусами, выполнен из баритового флинта и обращен вогнутостью к диафрагме 2. Компонент 12Представляет собой отрит цатальный двухлинзовый мениск, обращенный ыпуклостью к дифрагме, двояковогнутой инзы 5 и двояковыпуклой линзы 6. Линзы выполнены также как и в компоненте 10 из линта и тяжелого крона, разность показателей преломления которых не превышает 0,0065 при сильно отличающихся дисперсиях,.а склеиваемый радиус является хроматическим. Компонент 13 - положительный мениск 7 сделан из сверхтяжелого крона,расположен на расстоянии 0,O6foT диафрагмы и обращен к ней выпуклостью. Формула изобретения . Симметричный объектив с увеличением i состоящий из двух симметричных относительно диафрагме групп линз, каждая из которых содержит основной отрицательный мениск, положительный мениск, обращенный вогнутостью к диафрагме, и положительную линзу, отличающийся тем, что, с целью расщирения поля зрения, улучшения качества изображения и ахроматизации объектива в области 436 нм и 546 им, в каждую группу линз введены установленный между отрицательным мениском и диафрагмой положительный мениск, обращенный выпуклостью к диафрагме, и отрицательный двухлиь зовый мениск, расположенный между положительной лш13Ой и положительным мениском и обращенный вогнутостью к диафрагме, причем основной отрицательный мениск выполнен двухлинзовым и обращен выпуклостью к диафрагме, а положительная линза-од1шочной.