Проекционный объектив Советский патент 1979 года по МПК G02B13/24 

1:2 и находится на расстоянии от комнонента 2, равном 0,15-0,3 фокуса всего объектива.

Компонент 4 - положительный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, выполненный из сверхтяжелого крона с соотношением радиусов 1:0,26. Компонент 5 - положительная двояковыпуклая линза, выполненная из сверхтял елого крона.

Компонент 6 - отрицательный мениск, склеенный из трех линз 10, 11, 12, выполненных из сверхтяжелого крона, тяжелого флинта и крона соответственно. Разность показателей для сверхтяжелого крона и тяжелого флинта не превышает 0,001, разность коэффициентов дисперсии равна 22, а для пары стекол тяжелый флинт и крон .равна 33, соотношение крайних радиусов равно 1, 0,25.

Компонент 7 - положительный мениск, обраш,енный выиуклостью к плоскости предмета, склеенный из двух линз 13 и 14, выиолненных из баритового крона и сверхтяжелого крона соответственно, разность коэффициентов дисперсии которых равна 11.

Применение объектива, увеличение которого составляет 0,1х, дает возможность увеличить поле изображения, что нозволяет значительно повысить производительность труда за счет увеличения площади экспонирования, топологического рисунка в 3 раза.

Объектив найдет применение при изготовлении сверхбольших интегральных схем, что обеспечит повышение функциональной сложности интегральных микросхем.

Формула изобретения

Проекционный объектив, содержащий шесть комионентов, из которых первый - положительная одиночная линза, второй - одииочный отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, третий - двухсклеенный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, четвертый - положнтельная двояковыпуклая линза, пятый - мениск и шестой - отрицательный мениск, обращенные выиуклостью к илоскости предмета, отличающийся тем, что, с целью увеличения ноля зрения, он снабжен установленным за третьим комноиеитом положительным мениском, обращенным вогнутостью к плоскостн нредмета, при этом пятый компонент выполнен в виде трсхсклеенной отрицательиой линзы, а расстояние между вторым и третьим компоненТамн. составляет 0,15- 0,3 фокусного расстояния всего объектива. Источиики информации,

принятые во внимание ири экснертизе

1.Авторское свидетельство СССР № 333525, кл. G 02В 9/64, 1971.

2.Авторское свидетельство СССР № 486298, кл. G 02В 9/64, 1973.

Ч 5