Способ переноса изображения с фотошаблона на подложку с фоточувствительным слоем Советский патент 1977 года по МПК G03F7/20 

работки измерения первых ое раэцов шка лы устанавливают, что шкала имеет сис тематическую ошибку изготовления. Определяют коэффициенты линейного расши рения фотошаблона и подложки, после чего для определения необходимой величины коррекции, аппроксимируют кривую погрешности и подставляют в формулу, указанную выше, известные величины, получая необходимые температуры нагрева фотошаблона и подложки, ко торые могут быть как равны, так и раз личны, т.е. последующем экспонировании можно компенсировать погрешность размеров фотошаблона путем нагрева фотошаблона и подложки до одинаковой температуры или при разных, выбираемых в зависимости от свойств обрабатываемых материалов. После экспонирования подложку охлаждают до пер воначальной температуры, получая откорректированное изображение фотошаблона. Предложенный способ применим не только для коррекции ошибок размеров фотошаблона, но и других систематичес них ошибок, возникающих в процессе дальнейшей обработки получаемого изоб ражения детали. Формула изобретения Способ переноса изображения с фото шаблона на подложку с фоточувствитель ным слоем путем расположения фотошаблона непосредственно перед подложкой и экспонирования, о т л и ищи йс я тем, что, с целью повышения точности в линейных размерах получаемых изображений, определяют разницу в линейных размерах изображений фотошаблона и оригинала и корректируют размеры изображения фотошаблона путем нагревания экспонируемых элементов в отдельности или совместно до температуры, определяемой из выражения: . „ ТГ 4(ф- г,)/ где оС ,, L , - коэффициенты линейного расширения фотошаблона и подложки; :ii к температуры нагрева фотошаблона и подложки; 1,,- линейный размрр изображения оригинала; L. - линеиный размер изображения фотошаблона; i 2, - температура, при которой определяют разницу в линейных размерах изображений фотои1аблона и оригинала, при этом экспонирование проводят при данной темпера уре. Источники информации, принятые во внимание при .-ж с:пертйзе : 1. АвТ1.4,к;ко1 с.:видетельство СССР 173606, кл. В 41 М 3/08, 1963.