Измеритель потока разреженного газа Советский патент 1978 года по МПК G01F1/34 

(54) ИЗМЕРИТЕЛЬ ПОТСЖА РАЗРЕЖЕННОГО ГАЗА

1

Изобретение относится к вакуумной технике, в частностн к потокомерам, н может быть использовано для контроля потока прн обработке и обеэгажнванин атсектровакуум ных приборов.

На основного авт.св. № 453575 нжесген нэмернтель аотока разреженного газа, содер жашнй мооулвруюшую заслонку с пряв оа ом н манометрвческнй преобразователь ,

Рабйгй отого прибора основана на частичном парекрытян трубопровоаа то с одной, .то с другой стороны манометрического преобра зователя. Заслонка, перекрывающая трубопро в on, закреплена на вертшсвльной торсвонной пружине, установленной перпендикулярно к каналу трубопровоаа. На «той же пружнне вместе с заслонкой эвсреплен постоянный магнит, нахоояшнйса в поле электромагнита. Пнтанне мюктромагяята оеушествляется от генератора, который обеспечивает качание васлонкя с частотой авганяя алектромагннта.

Такая система работает в режиме выну; ленных колебаний и любое изменение внешних иля внутренних параметров системы

(свойств магнита, упругости лружины, огкло нениё параметров генератора во времени) приводит к изменению амплитуды-иояебаний заслонки, качанню с бнениями н даже полной остановке заслонки.

Нестабильность качения заслонки препятст вует надежному измерению потока разрежен кого газа, постоянству его характеристик ri ссжрашает ресурс пружины при иелиш не большом угле качация

Цель изобретения - обеспечение стабнль ноете качания васлонкя и повышение надежности в работе измерителя потока разрежён ного газа,

Эта авяь достигается тем, что измеритель потока ра юженного газа по авт. св. hft 453575, снабжен датчиком скорости движения заслонки, связанным с усилителем, блоком сравнения и визуальным индикатором, при этом выходы усилителя и блока сравнения соединены с входом стаби}тзирукнцего устройства, которое подключено к обмотке питания «лвктромагнитного привода васлонкя.

На чертеже представлена стпуктурНя схема измерителя потока разреженного гав««

Вкорпусе 1 иэмврятвля размещены NfaHo-метрический преобраэовагель 2 к растянуты на гибких нвтвх 3 держатель 4 с заслонкой 5 и магнитом в. Магнит находится в поле «пектромагнита Т.Иэмеритель потока снабжен индуктивным датчиком 8 скорости движейия заслонки,5, визуальным индикатором 9, усилителем 10 и блисом сравнения 11, а выходы усилителя и блска сравнения соединены со стабилизирующим устройством 12, которое подключено к обмотке электромагнита 7. Манометрический преобразователь 2 связан с ycrpcrficTBOM 13 отсчета потока./

В процессе работы качание заслонки 5 и Магнита в регистрируется индуктивным датчик{ж« 8, Последний регистрирует качание магрита 6. Наведенная в нем ЭДС подаетйя на визуальный индикатор 9, усилитель 1О и блок сравнения li. Усиленный сигнал ЭДС подается на стабилизирующее устройство 12,а с егр выхода -в цепь питания электромагнита 7. Пот1ж раз раженного газа по переменной составляющей давления регистрируется устройством 13 отсчета потока,Наводимая в индуктивном Датчике 8 ДС пропорциональна скорости даижеиия магнита 6 и заслонки 5, Визуальный индикатор 9, например, с помощью светорезистора позволяет судить о работе заел0 псй в любой момент времени,

В блсже сравнения 11 наведенная ЭДС сопротивляется с опорным сигналом, подводимым к нему и обеспечивающим регулн| гаку угла максимального поворота заслонки. Разностный сигнал на выходе блока сравнения 11 управляет стабилизирующим устройством 12 с отрицательной обратной связью при повышении величины наводимой ЭДС напряжение питания электромагнита 7 уменьщается, и наоборот. В резуль тате наводимая в индуктивном датчике 8 ЭДС и угол максимального отклонения заслонки 5 при качании поддерживаются постоянными на заданном уровне, а сама заслонка качается на своей резонансной частоте

Стабилизация угла поворота заслонки обеспечивает надежное и достоверное измерение потока разрежённого газа, а также позволит визуально контролировать работу модулирующей заслонки. Это увеличивает работоспособность и надежность измерителя потока, поскольку защищает подвеску От перегрузсж при излишне больших -углах поворота заслонки.

Формулаизобретения

Измеритель потока разреженного газа по авпсв. № 4S3S7S, о т л и ч и ю щ и Йс и тем, что, с целью обеспечения ста- бйльнсюти качания заслонки и повыщени надежности в работе, он снабжен датчиком скорости движения заслонки, связанным с усилителем, блоком сравнения и визуальным индикатбром, при этом выходы усилителя и блока сравнения соединены с входом стабидйзярующего устройства, которое подключено к обмотке питания электромагнитного привода заслонки.

Пет гвзв

.

,

1

ft

II

Т

ffmiMbtd eiitms