Измеритель потока разреженного газа Советский патент 1979 года по МПК G01F1/34 G01F15/06 

Изобретение относится к области вакуумной техники и касается измерения потока разреженного газа:

йгйИзвестно устройство, в котором величину потока разреженного газа определяютс Tioмощью манометрического преобразователя и заслонки с приводом, установленным в трубопроводе 1. Манометрический преобразователь измеряет давление газа то с одной, то с другой стороны качающейся, заслонки. Выходной сигнал манометрическбго преобразователя состоит из двух составляющих - постоянной, указывающей на среднее давление в вакуумной камере измерителя потока, и переменной, прямо пропорциональной потоку разреженного газа.

Это устройство не обеспечивает измерения потока в щироком диапазоне походной щкале.

Целью изобретения является обеспечение измерения потока разреженного газа по одной щкале.

Поставленная цель достигается тем, что измеритель потока разреженного газа содержит два логарифмирующих устройства, устройство отделения и детектирования переменной составляющей, фильтр и сумматор.

причем вход первого логарифмического устройства соединен с манометрическим преобразователем, а выход через фильтр - с первым входом сумматора и через зстройство отделения и детектирования переменной составляющей с входом второго логарифмического устройства, выход которого подключен ко второму входу сумматора, а

ВЫХОД сумматора сОединен с регистрирующим прибором.

На чертеже показана принципиальная

схема предлагаемого устройства, обеспечивающего контроль потока по одной шкале с логарифмическим распределением отсчета. Устройство содержит модулятор потока и манометрический преобразователь 1, устанавливаемые в трубопроводе с измеряемым потоком газа, первое логарифмическое устройство 2; устройство отделения переменной составляющей сигнала, например, конденсатор 3; детектор-выпрямитель 4 переменного сигнала в постоянный; второе логарифмическое устройство 5; устройство 6, пропускающее постоянную, но задерживающее переменную составляющую сигнала (фильтр), например в виде йндуВДионного дросселя; сумматор 7; регистрирующий прибор 8.