ИЗМЕРИТЕЛЬ ПОТОКА РАЗРЕЖЕННОГО ГАЗА Советский патент 1974 года по МПК G01F1/34 

1

Изобретение относится к вакуумной технике. Известен измеритель потока разреженного газа, содержащий встраиваемый в линию измеряемого потока корпус с манометрическим преобразователем и модулирующим устройством, выполненным в виде нодвнжной заслонки с приводом, установленным в корнусе последовательно с преобразователем.

Однако показания такого измерителя зависят от конструкции вакуумной системы.

Для исключения влияния конструкции вакуумной системы на показания измерителя в предлагаемом устройстве корпус выполнен в виде крестообразно сочлененных патрубков, в первом из которых, измерительном, размещен манометрический преобразователь, а во втором, расположенном напротив первого, - привод заслонки перекрывающей попеременно отверстия в линии входа и выхода газа из камеры измерительного патрубка, при этом два других патрубка предназначены для стыковки с линией измеряемого потока.

На фиг. 1 изображен предлагаемый измеритель потока, общий вид: на фнг. 2 - то же, разрез по А-А.

Измеритель потока содержит корпус 1 в виде крестообразно сочлененных патрубков с фланцами 2 на торцах. Ири помощи двух расположенных друг против друга фланцев 2 измеритель потока встраивается в линию измеряемого потока. На двух других фланцах 2 монтируется манометрический преобразователь 3 и модулирующее устройство 4 с заслонкой 5, которая представляет собой часть поверхности цилиндра, качающейся (вращающейся) относительно оси 6. Заслонка 5 закреплена на оси 6, подвешенной на гибки.ч упругих растяжках 7. На оси 6 закреплен магнит 8, находящийся в поле электромагнита 9. Он

обеспечивает качание заслонки 5 с частотой питания электромагнита 9 переменным напряжением. При качании заслонка 5 соединяет измернтельную камеру 10 с установленным в ней манометрическим преобразователем 3: то

с линией источника потока, то с линией откачки.

Устройство работает следующим образом. Газ движется, например, слева направо. В тот момент, когда заслонка 5 перекрывает отверстие справа, газ заполняет измерительную камеру 10 с манометром 3. К моменту полного перекрытия отверстия с правой стороны максимальное давление в измерительной камере 10 достигает значения Я. Качаясь, заслонка 5 перекрывает отверстие слева и открывает отверстие справа. Газ выходит из измерительной камеры 10.

В момент полного перекрытия заслонкой 5 отверстия слева, минимальное давление в камере равно PZ. За один цикл качания заслон