Измеритель потока разреженного газа Советский патент 1978 года по МПК G01F1/34 

Изобретение относится к вакуумной технике. Известен измеритель потока разреженного газа N«453575, основанный на модупяции потока газа и содержащий корпус с размещенными в нем модулирующей заспонкой и манометрическим преобразователем и измерите пьный прибор. Это устройство позвопяет с высокой точ ностью измерять величину потока Q разре женного газа, но не позволяет измерять скорость откачки разреженного газа. Целью изобретения является обеспечение возможности измерения скорости откачк разреженного газа. Это достигается тем, что предпагаемь1й измеритель снабжен логарифмирующим устрой ством, вход которрго подключен к манометрическому преобразователю, а выход через конденсатор - к измерительному прибору. На чертеже представлена принципиальная схема описываемого устройства. В корпусе 1 устройства установлены I мод5лятор 2 потока (заслонка) и манометрический преобразователь 3. Цепь выходкого сигнала манометрического преобразовйтепя 3 соединена с погарифмирукхцим устройством 4, выход которого подключен к измерительному прибору 5, например вольтметру, через конденсатор 6, Выходной сигнал манометрического преобразователя 3,установленного в корпусе 1, состоит из двух составлупоших: постоянной, пропорциональной давлению Р в зоне измерения скорости откачки: 1г Р ,(О и переменной, пропорциональнойпотоку разреженного газа: l.tQ,U1 где К и t - постоянные коэффициенты. Сигнал давления с выхода манометрического преобразователя 3 подается на вход логарифмирующего устройства 4. Переменная, составляющая, выделенная с выхода логарифмирующего устройства 4 конденсатором 6 и измеренная прибором 5, пропорциональна скорости откачки разреженного газй в .сечении установки модулятора 2 потока. . Действительно,, при логарифмировании суммарного сигнала ямеем: eKti.ti-v)e;,I..n,) Исходя из практических соображений, ц сообразно проводить частичную модул$щию потока, такую, чтобы коэффициент модуляции. , m.V i был не более-р 1. При выпопнении этого условия откачки системы практически не снижается. Тогда логарифм второго слагаемого выражения (3) может быт аппроксимирован: ( -На выходе погари4 ирующего устройств 4 имеем} е $ии«е-1..| Учитывая, что скорость откачки (6) то переменная составпякщая пропорциональ на скорости откачки $ , . где G а - постоянный коэффициент. Измерительный прибор 5, контролирующий переменную составляющую 14уна,выходе логарифмирующего устройства 4, обеспечит непрерывное измерение скорости откачки по линейной шкале. Формул аизобре тения Измеритель потока разреженного газа по авт. свид. № 453575, от л и ч а ющ и и с я тем, что, с целью обеспечения возможности измерения скорости откачки разреженного газа, ои снабжен логарифмирую щим устройством, вх;од которого подключен к манометрическому преобразователю, а выход через конденсатор - к измерительному прибору. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе} 1. Авторское свидетельство №453575, кл. Q 01 F 1/34, 1972.

J

тмг

-Ih