Электропроводящая паста Советский патент 1978 года по МПК H01B1/02 

Изобретение относится к электропроводящим материалам, применяемым в производстве полупроводниковых приборов. Известны электропроводящие составы на основе мягкого металла, полимерлого связующего и органического растворителя, причем в качестве токопроводящего наполнителя используется порошкообразныйТлеталл, например серебро, а в качестве связующих веществ различные клеи или смолы 1. Известные составы обеспечивают хорощую электропроводность и электрический контакт, но их трудно удалять с поверхности изделия, на которое они наносятся. Известна элeкTpoпpvJвoдящaя паста для печатных плат и интегральных .микросхем, содержащая органические термореактивные связующие, например фенольные, ксилольные, эпоксидные смолы, и металлические наполнители в виде кристаллов-дендритов, например меди, железа, и аморфных чешуек, например, серебра, меди, -причем чешуйки располагаются частично между дендритами, образуя сплощную поверхностную пленку 2. Эта паста обладает повышенными адгезионными свойствами. Однако невозможно качественно удалять компоненты пасты с поверхности изделий, например полупроводниковых пластин и кристаллов, когда требуется создать временный контакт с изделием, например, при разделении полупроводниковых пластин на кристаллы электроэрозионным методом. С це.чью повышения технологичности процесса нанесения пасты и последующего ее удаления с поверхвости изделия при сохранении надежного контакта пре.длагаемая пае%а содержит в качестве термореактивных органических связующих воск пчелиный и канифоль, а в качестве наполнителя - металлические щарики диаметром 5-50 мкм при следующем соотношении компонентов, вес. Металлические шарики 85-90 Воск пчелиный9-13 Канифоль1-2 Наличие органических связующих агентов пчелиного воска и канифоли обеспечивает хорошие адгезионные свойства пасты, например, качественную приклейку полупроводниковых пластин к рабочему столику, на котором производят разделение пластин на кристаллы. Воск и канифоль хорошо растворяются в органических растворителях, не оставляя на поверхности загрязнений, что обеспечивает качественное удаление наносимого cqcTaBa.

Металлические шарики изготавливают из олова и сплавов на его основе, цинка и других металлов и могут быть использованы многократно. Диаметр шариков 5-50 мкм обеспечивает требоваиия плотной Упаковки для создания надежного контакта и качественное удаление с поверхности.

Электропроводяшую пасту приготавливают следующим образом.

Навески воска пчелиного и канифоли заданного состава засыпают в фарфоровый тигель и на плитке нагревают до 130- 150°С. После полного расплавления компоиеитов производят добавление металлических шариков заданного диаметра .и перемешивание состава стеклянной палочкой до получения одиородной массы.

По предлагаемому способу была изготовлена электропроводящая паста следующего состава, вес.°/о:

Металлические шарики 90 JBocK пчелиный9

Канифоль1

Паста этого состава была применена при разделении полупроводниковых пластин на кристаллы, электроэрозиоиным способом Опробование показало качественное разделение и последующее качественное удаление пасты с поосрхности кристаллов.

Формула изобретения

Электропроводящая паста для создания контакта преимущественно с полупроводниковыми пластинами и кристаллами, включающая термореактивные органические связующие и металлический наполнитель, отличающаяся тем, что, с целью.повышения технологичности процесса нанесения пасты и последующего ее удаления с поверхности изделия при сохранении надежного контакта, она содержит в качестве термореактивных Органических связующих воск пчелиный и канифоль, а в качестве наполнителя - металлические шарики диаметром 5-50 мкм при следующем соотношении компонентов, вес.%:

Металлические шарики 85-90 Воск пчелиный9-13

Канифоль1-2

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1.Авторское свидетельство СССР № 342226, кл. Н 01 В 1/02, 1972.

2.Патент США № 3.767.519, кл. 161 - 168, 1973.