Способ определения величины газового потока при низких давлениях Советский патент 1976 года по МПК G01F1/00 

1

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к измерению газовых потоков при пизких давлениях.

Известные способы непрерывного измерения газового потока при откачке газа из камеры при своих достоинствах имеют один существенный недостаток: выделение газа или откачка газа из измерительной камеры, в которой установлен манометрический преобразователь, выдающий сигнал о величине потока, будут вносить ошибку в величину измеряемого потока, изменяя давление в рабочей камере.

Целью настоящего изобретения является повышение точности измерения. Это может быть достигнуто, если модулирующее устройство - элемент переменного сечения - установить не между измерительной камерой известного объема и патрубком откачки, а между измерительной камерой и камерой с источником потока. Иными словами, если модулировать не эффективную скорость откачки газа из измерительной камеры, а сделать пульсирующим поток газа, входящий в измерительную камеру, т. е. модулировать поток газа перед входом в измерительную камеру постоянного объема.

Принципиальная схема реализации способа показана на чертеже, где приняты следующие обозначения: 1 - камера с объемом Vi - ясточ.ник газового потока Q, величину которого необходимо определить; 2 - измерительная

камера известного постоянного объема Vz, 3 манометрический преобразователь, QM - газовый поток из малометрического преобразователя 3; 4 - трубопровод (штенгель), соединяющий камеру 1 с камерой 2; 5 - заслонка, модулирующая поток на входе в измерительную камеру 2.

Поток газа из камеры 1, проходя через вращающуюся заслонку 5, становится пульспрующим. Переменная составляющая давления Д/ в измерительной камере 2 пропорциональна величине измеряемого газового потока Q, равного

Q K-Vz-f- p,

где /С - постоянный коэффициент, f - частота вращения заслонки. Постоянный поток QM из манометрического преобразователя 3 приводит к увеличению или уменьшеппю постоянной составляющей давления в цзмернтельной камере 2 и не влияет на перемсицую составляющую давления.

Данный способ полного цсключепия влияния утечек, выделения газа илц откачки газа в измерительной камере 2, в которой устаиозлен манометрический преобразователь 3, позволяет применять более надежные, чем ионизационные, электроразрядные манометры. Это увеличивает надежность прибора, делает его аварийностойкиМ, в частности при повьицеппн

давления до атмосферного.

Для данного способа измерения потока разреженного газа характерна меньшая чувствительность полезного сигнала по нотоку (dn/dQ), чем при измерении потока путем модуляций скорости откачки. Однако меньшую чувствительность полезного сигнала можно скомпенсировать ирименением сеочективного усилителя, настроенного на двойную частоту враш,ения заслонки 5.

Ф о р м у ;i а и 3 о б р е т е н и я

Способ опрелелсиня величины газового потока при низких давлениях путем измерения переменкой составляющей давления в Камере постоянного объема, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений, поток газа модулируют перед входом в камеру :постоянного объема.

5

f

Ч I

f,.

..:г А