Способ получения герметичности изделия Советский патент 1978 года по МПК G01M3/00 

(54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ ИЗДЕЛИЯ

Изобретение ОТНОСИТСЯ к испытател ной технике, а именно к способам кон троля герметичности полых изделий. Известен способ контроля герметич ности, по которому изделие заполняют пробным газом, например гелием, а за тем фиксируют утечку гелия при помощи масс-спектрометрического течеискателя и проводят разбраковку изделий l . Недостатком такого способа является то, что им можно отбраковывать изделия с течами не более 10 л-мкм -рт.ст. Изделия с большими течами по прошествии некоторого времени этим способом не выявляются в связи с потерей гелия до момента измерения. Известен также способ контроля ге метичности изделия в широком диапазоне измеряемых утечек с использованием сорбента, замедляющего истечени пробного газа из изделия, путем поме щения сорбента в изделие, заполнения изделия пробным газом, например гели ем, фиксирования утечки газа при помснци масс-спектрометрического течеискателя и отбраковки изделия f2. Однако такой способ сложен и не применим для изделий с малым свобсдзным объемом, так как требует введения в изделие дополнительных элементов. , Цель изобретения - упрощение способа. Для этого в качестве среды, замедляющей истечение пробного газа из изделия, используют неполярную жидкость с вязкостью 0,2-2 спз, в которой выдерживают изделие после заполнения пробным газом до момента измерения утечки. В качестве такой жидкости могут быть применены тетрахлорэтан, четыреххлористый углерод, пентан. Вязкость этих веществ находится в интервале 0,2-2 спз. Вскрытие каналов течей, перекрытых неполярньили жидкостями при вакуумировании изделий, происходит за несколько секунд. В то же время для полярных жидкостей это время составляет несколь.- ко часов, что неприемлемо для контроля. Способ осуществляют следующим образом. Проводят контроль герметичности изделий путем заполнения их гелием фиксирования утечки при помощи массспектрометрического течеискателЛ и

последующей разбраковки изделий на годные и негодные.

Затем изделия, признанные годными, вновь спрессовываются в гелии, после чего их заливают в йтойже камере неполярной жидкостью или переносят в другую камеру, заполнеиную неполяр ной жидкостью.

Количество проникшей внутрь изделия жидкости в измеряемом диапазоне течет при малом внутреннем объеме изделия незначительно и не принимается во внимание, поскольку при этом жидкость проникает внутрь изделия в основном за счет испарения q поверхности, равной плсяцади сечения канала течи, до установления равновесного давления паров внутри объема изделия,

Затем Изделия извлекают из жидкости и повторно измеряют утечку пробteoro газа.

Предлагаейый способ имеет наибольшие преимущества при контроле микроминиатюрных . полупроводниковых;приборов.

Формула изобретения

Способ контроля герметичности из делия в широком диапазоне измеряе{«кш утечек с использованием среды, замедляющей истечение пробного газа из изделия, путем заполнения изделия пробным газом, измерения утечки газ при помощи, например, масс-спектрометрическогр течеискателя и последую щей отбраковки изделия, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа, в качестве среды, замедляющей истечение пробного газа из изделия, используют неполярную жидкость с вязкостью 0,2-2 спз, в которой вьздержйвают изделие после заполнения пробным газом до момента измерения утечки.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

, 2. Авторское свидетельство СССР 1 323684, кл. в OlL 21/00, 1970.