Устройство для каталитического оксидирования металлов и полупроводников Советский патент 1978 года по МПК F27B11/00 

что пары мышьяка, образующиеся при тер.мическом разложении образцов 14 арсенида галлия, не удаляются за пределы используемой печи, а конденсируются на внутренней поверхности стеклянного колпака 8. Конденсация мышьяка обусловлена тем, что стеклянный колпак имеет более низкую температуру, чем нагревательный элемент и окисляемый образец.

Коэффициент полезного использования подаваемой на печь электроэнергии достаточно велик (60-80°/о), поскольку, кроме образцов и катализатора, другие элементы печи не подвергаются специальному нагреву, а теплоотвод от нагревательного элемента 7 по стойкам 6 и за счет теплового излучения при температурах до 700°С невысок.

При использовании предлагаемого устройства упрош,ается конструкция печи для термического окисления металлов и полупроводников; обеспечивается возможность проведения окисления при низких температурах и увеличивается коэффициент полезного использования подаваемой на печь электроэнергии; обеспечивается равномерное перемешивание газа в реакционной зоне; достигается безопасность при работе с окисляемым веществом.

Формула изобретения

Устройство для каталитического оксидирования металлов и полупроводников, включающее печь с колпаком и патрубками подвода и отвода газа, размещенными на разных уровнях, внутри которой установлен нагреватель, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и обеспечения безопасности при работе с окисляемым веществом, оно снабжено механизмом прижима катализатора к образцу, размещенным на нагревателе и выполненным в виде стойки с кольцом и груза, а колпак выполнен из стекла.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. Авторское свидетельство СССР № 199833, кл. F 27 В 5/00, 1965.