Устройство герметизации диффузионной ячейки для измерения диффузии в тонкопленочных материалах Советский патент 1978 года по МПК G01N13/00 G01N15/00 

Татовлан is 1К|Ольцево1М пазу иа подвижлом жесикам 1К|ОЛьце, ;кощрОе гтоджато к упл-опкителыному |ЭлвМ1йнту с тамощьто коничеаиих шяюгнок, у;ста,Н1авЛен ых IB (радиальных iniaaax, а гайка охвлтьюа1ет оонов ам-ие; кольцевой паз 1И уилопнителыный элемент Имеют щр-ямоулольное сечение.

На фиг. 1 схематически локазашо п.редл а. уст1ройст|вочв раарезе; на фиг. 2 - оечемме по А-А |на фиг. 1.

Уст/ройспво гермет1из1ации диффуз1ИС|КНой я-чейки для намерения диффузии ,в толкоиле коч(ны1х .м.ате|р Иалах оодер|Ж)ит уп|ру|Пий уплот1Н1Ительный элем&нт /, испытуемый образец 2, 1решетку 3, iKipbrmKy 4, lOioHOBaiHHie 5, жеспЕое кольцо 6, К01н:ич1ес1кие шпонюи 7, иакидную « м мрепежные злеманты 9.

Улл1от1н,ктель1ный элемент 1 установлен .3 1ко.льЦево1М пазу 10 оаноВ а1Н1 я 5 яа лодвижио/м жесткОМ кольце 6. Канические Шпанки i7 ;ра1алол|ОЖ1аны в |р1ад|иалыных аазах 11, равномарио (р.аОшределегнных по пер1И;мет;ру основания 5. Пайка S ожватьго-ает основание 5. На крышке 4 имеются патрубки 12 для 1П10да1чи рабоч,его вара, газа . Л,н жидкости.

Работает устройство следующим o6;piaзом.

Испытуемый образец 2, помещенный яа подде|рж:И1ваю1цую (решепку 3, .эаЖИ1маетоя с К1ре1пеж1ных элементав 9 между о1ано:ван1И ем 5 и «рышкой 4. Затем ;п;р1И ,в|рлщ,е1НИ|И :рай:к,и 8 жомические шпанэди 7 переЛ1е.щают1ся .в (р адиально м 1Н1а1П1ра1влен1И1И « цвнт1ру « передают усилие .жестко му «ольцу 6, iKOTOipoe, iB свою 101че редь, .перемещаясь i3B.epiX ПО 1кольцевс1М1у тазу 10, давит иа уплотнительный элемент. Вследствие такой одноосной деф рмации ynipyno.ro упл:а™:Ительного элемента .происходит герметизация Я1чей|юи.

(В диффузиотной .ячейке о.б|ра.зец (мепалЛИЗИ;р.ОВа1Н|НОЙ ИОЛИМерИОЙ ПЛеНЖИ (ИЛИ ТОНК|ОЙ пленки 1металл1а, проницаемость которой долж.на быть измерена, является разделителыной ;мемб|р,аиой, 1В1Н1ещюЯ(Я староиа IKOторой О1МЫ1в,а1етоя потаюам таза, inaipia (ИЛИ жидкос-ли через папрубии 13 лри .31ада,Н1Н10м давлении. Вторая сторона ооеди|Н1вн1а ic датчикам определения концентрации диффунДИ|рую1Щепо (вещестВа. Это шожет быть датчик измерения дазления, масс-спектрометр и т. п.

Вследствие р,а:Е1н.01ме;р КО.го (распределения р асполОж.енИЯ ;кан1Иче.ок;И1х шпонок 7 по периметру ОС1н.о«а1Н1ия 5, при шращении нак1иднюй :пайК1И «5 усилие зажИМ1а раюномерио передается на герметизируемый тонкопленочлый 1М:атврИал, . этам обес1печив1ается вадеж1ность .гермет1Иза1ЦИ1И.

|ВсЛ1ед1Ствие таго, что об(разец сначала зажимается 1К1репеж1ны1Ми элементами Я а затЭм уплотНЯ1етс1Я, .не П1рО|И1Сходит деф;0 р1Мад;ии испытуемого образца. Таким образом, об разец надежно и Те;р1мет1ИЧ1Но зажимается в Д1:1ф.фузи1С11таой ячейасе.

Предл-апаамое уст1р.ойство ;позБоляет многократно из.м©р:ять П1раницае м.ость отдел.енных от л од ложки тонкапленочлых лоКрытий без необраТ1Имой дефо|р:маци И.

Ф.ормула изобретения

1. У.СТ роЙ1СТ1В.о гер|мет1изации диффузиюс |1;ой :Я1чеЙ1Ки ДЛ1Я (рения д1Иф.фузии в тоно-:опле;н01Ч1ных матер1и:ала.х, |соде;ржащ.ее упругий уплотнителыный элемент, ирышку, основа1ние и Крапежные элементы, о т л и ч а ющееся тем, что, с целью герметизации толколленочного .материала .без нарушения его целостн.ости, .осн0,В1а1Ние 1ахвач.ено гай1кой я ъ 1нвм |вы1полианы радиальные и кольцевой лазы, улл.отнительный установлен в КО|Льцев ам пазу на .жестком кольце, которое лоджато к уплотнителыному элвМенту с томощью (коничвсмих шпонок, установленных в радиальных пазах.

2. Уст1р ОЙ1ство ПО 1П. .1, отличающеес.я тем, что .кольцевой Паз и уплотнительный элемент имеют п|р.я.моугольное сечение.

И€точн;Ики инф1арма.ц|И(Н, 1пр.И1Нятьге ®о янимшние при э:К1ап1е|ртизе:

1.Патент Великобритании № 1345290, «л.F2B, 1974.

2.(Патент ФРГ № 1063832, жл. 54d 6/01, 1967.