Токоввод для установки ионного азотирования Советский патент 1979 года по МПК H01B17/26 

1

Изобретение относится к электротехнике, а именно к токовводам и может быть использовано для подвода высокого напряжения к электроду, находящемуся в вакуумной камере.

Известен токоввод, состоящий из токоведущего элемента, изоляторов, зажимных втулок и корпуса вакуумной камеры установки 1.

Токоведущий элемент изолирован от корпуса изолирующими элементами, винтовая крышка, установленная на внещней стороне камеры, обеспечивает герметичность токоввода. В нижней части устройства изолирующий элемент поджимается к основанию корпуса металлической втулкой, которая перекрывается металлическим колпаком. Между металлической втулкой, основанием и металлическим колпаком устанавливаются зазоры, необходимые для предотвращения возникновения тлеющего разряда между элементами анода и катода.

Однако система зазоров не обеспечивает длительную эксплуатацию токоввода из-за быстрого возникновения металлизированного слоя на катоде в результате напыления металлических частиц.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является токоввод, содержащий корпус проходящей через него токоведущий элемент, два расположенных между корпусом и токоведущим элементом и установленных с зазором между собой и коаксиально токоведущему элементу изолятора и крепежпые элементы 2.

Во внещнем изоляторе устанавливается дополнительный изолятор с размещенным 0 на нем металлическим кольцом, в результате чего образуются защитные зазоры между токоведущим элементом (катодом) и зажимной втулкой, соединенной с корпусом установки (анодом).

Однако большой зазор между зажимной втулкой и токоведущим элементо.м приводит к напылению металлических частиц на изоляторе; кроме того, введение дополнительного металлического кольца приводит к образованию на нем дополнительного положительного потенциала, что может привести к явлению пробоя.

Кроме того, в известном токовводе токоведущий элемент жестко закреплен во внешнем изоляторе, что не позволяет регулиро,,:.-- -3- вать расстояние между токоведущим элементом и корлусом. Для повышения надежности и расширеНИН функциональных возможностей известный токоввод для установки ионного азотирования, содержащий корпус, проходяш,ий через него токоведупдий элемент, два расположенных между корпусом и токоведущим элементом и установленных с зазором между собой и коаксиально токоведущему элементу изолятора и крепежные элементы, снабжен расположенным с одного из торцов коаксиальных изоляторов со стороны, противоположной корпусу, дополнительным изолятором, выполненным в виде щайбы с цилиндрическим пазом в центре, при этом коаксиальные изоляторы расположены на части своей длины в пазу, торец внутреннего изолятора непосредственно прилегает к щайбе, а торец внещнего изолятора расположен на расстоянии 0,2-0,5 мм. Кроме того, токоввод снабжен установленной между токоведущим элементом и внутренним изолятором металлической втулкой и установленной соосно ей со стороны корпуса цангой, при этом зажим.ные элементы выполнены в виде дисков, один из которых расположен .на щайбе, а другой - на цанге. На чертеже изображен предлагаемый токоввод, разрез. Он состоит из корпуса 1, токоведущего элемента 2, внутреннего изолятора 3, внещнего изолятора 4, установленных с зазором между собой и коаксиально токоведущему элементу. На торцах коаксиальных изоляторов со стороны, противоположной корпусу, расположен третий изолятор, выполненный в виде щайбы 5 с цилиндрическим пазом 6 в центре. Шайба 5 расположена непосредственно на торце внутреннего изолятора 3, а от торца внещнего изолятора отстоит на расстоянии 0,2-0,5 мм. Между токоведущим элементом 2 и внутренним изолятором 3 установлена металлическая втулка 7 с наружной резьбой на одном ее конце, посредством которой на ней закреплен диск 8. Соосно втулке 7 расположена цанга 9, посредством которой можно регулировать расстояние между торцом токоведущего элемента и корпусом. С внещней стороны корпуса 1 установлен другой диск 10, который винтами 11 крепится 6 7 К корпусу 1. Диски 8 и 10 стягивают всю конструкцию токоввода. Между втулкой 7 и цангой 9 расположен уплотнительный элемент 12. Токоввод для установки ионного азотирования работает следующим образом. При подаче на токоведун ий элемент высокого напряжения и возникновении тлеющего разряда (за счет системы зазоров между изоляторами во время процесса очистки) частицы металла не проникают в промежуточное пространство между вертикальными изоляторами. Тем самым исключается возможность напыления внутреннего изолятора а также исключается явление пробоя. Перемещение стержня токоввода осуществляется за счет ослабления цанги. Формула изобретения 1. Токоввод для установки ионнного азотирования, содержащий корпус, проходящий через него токоведущий элемент, два расположенных между корпусом и токоведущим элементом и установленных с зазором между собой и коаксиально токоведущему элементу изолятора и крепежные элементы, отличающийся тем, что, с целью повыщения надежности, он снабжен расположенным с одного из торцов коаксиальных изоляторов со стороны, противоположной корпусу, дополнительным изолятором, выполненным в виде щайбы с цилиндрическим пазом в центре, при этом коаксиальные изоляторы расположены на части своей длины в пазу, торец внутреннего изолятора непосредственно прилегает к щайбе, а торец внещнего изолятора расположен на расстоянии 0,2-0,5 мм. 2. Токоввод по п. 1, отличающийся тем, что, с целью расщирения функциональных возможностей, он снабжен установленной между токоведущим элементом и внутренним изолятором металлической втулкой и установленной соосно ей со стороны корпуса цангой, при этом зажимные элементы выполнены в виде дисков, один из которых расположен на шайбе, а другой - на цанге. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Патент США № 3018409, кл. 315-111, 1963. 2.-Патент ФРГ № 1143078, кл. 48 В 11/20, 1963.