Способ получения микропробы поверхностного слоя материала Советский патент 1981 года по МПК G01N1/00 

(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ МИКРОПРОБЫ ПОВЕРХНОСТНОгЬ СЛОЯ МАТЕРИАЛА

нения при разделении продуктов эрозии по фазному составу, часто необходимое при проведении анализа химического состава полученной микропробы.

Известен также способ получения микрогтробы поверхностного слоя материала путем нанесения на плоскую подложку продуктов эрозии, выбрасываемых под воздействием лазерного излучения на поверхность вращающегося образца материала.

Основными недостатками известного способа являются отсутствие возможности сбора микропробы определенного, требуемого фазового состава; ограниченный выбор материала подложки, которая должна быть прозрачна для излучения ОКГ; возможность ослабления потока энергии, передаваемого поверхности анализируемого образца из-за, например, отражения части излучения подложкой.

В предлагаемом изобретении с цель сбора проб определенного фазового состава подложку устанавливают перпендикулярно, поверхности образца навстречу продуктам эрозии.

Распределение пробы -по фазовому составу происходит по высоте подложки. Вращение анализируемого образца приводит к искривлению траектории движения продуктов эрозии по мере удаления их от оси вращения образца, причем вследствие существенной разницы в скоростях удаления(точнее в моментах количества движения продуктов эрозии в парообразной и жидкой фазах, большее искривление траектории наблюдается для той.фазы, скорость (момент количества движения которой меньше, т.е. для капельножидкой фазы. При необходимости отбора на подложку одного из фазовых составов продукта эрозии выбирают узкую подложку и перемещают ее ближе к образцу параллельно его оси вращения для сбора капель с жидкой фазы, и дальше от образца - для сбора парообразной фазы.

На чертеже схематически изображено расположение подложки при осуществлении предлагаемого способа получения микропробы поверхностного слоя м териала.

Пример. Излучение оптическог квантового генератора 1 фокусируют собирающей линзой 2 на выбранном участке 3 анализируемого материала 4 который приводят во вращение вокруг оси 5. Подложку 6 располагают перпендикулярно поверхности материала 4 навстречу продуктам эрозии, направление выброса которых определяют по направлению вращения образца. Микропробу в жидкой фазе 7 собирают нанесением капель на подложку 6, которую перемещают ближе к поверхности материала 4, а для сбора микропробы в парообразной фазе 8 подложку 6 перемещают параллельно оси 5 вращения анализируемого материала 4 ближе к линзе 2, фокусирукяцей излучение ОКГ.

Анализ химического .состава микропробы проводят различными известными способами: спектральным, активационным и др.

Использование предлагаемого способа получения микропробы поверхностного слоя материала по сравнению с существующими способами позволяет . использовать подложки из любого ма- териала (прозрачного и непрозрачного для излучения ОКГ); исключает влияние подложки на энергетические характеристики потока излучения ОКГ, передаваемого поверхности анализируемого образца; позволяет собирать микропробу определенного фазового состава, требуемого для проведения анализа; не требует высокой поверхностной однородности анализируемого материала, так как выбор оптимальной скорости вращения образца, длительности импульсов излучения ОКГ и расположения подложки позволяют варьировать протяженность зоны получения микропробы; значительно уменьшает размеры области, в которой происходит поглощение и рассеивание факелом продуктов эрозии излучения ОКГ; позволяет собирать все продукты эрозии, удаляемые с поверхности анализируемого материала, что значительно повышает качество, в частности воспроизводимость и чувствительность проведения анализа химического состава получаемой микропробы поверхностного слоя материала.

Формула изобретения

Способ получения микропробы поверхностного слоя материала путем нанесения на плоскую подложку продуктов эрозии, выбрасываемых под воздействием лазерного излучения на поверхность вращающегося образца материала, отличающийся тем, что, с целью сбора проб определенного фазового состава, подложку устанавливают перпендикулярно поверхности образца навстречу продуктам эрозии.