(54) ПРОЕКЦИОННЬда ОБЪЕКТИВ С УВЕЛИЧЕНИЕМ 0,1
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Объектив микроскопа для ультрафиолетовой и видимой областей спектра | 1991 |
|
SU1793413A1 |
| Симметричный объектив с увеличением 1 | 1976 |
|
SU575599A1 |
| Проекционный объектив | 1984 |
|
SU1224769A1 |
| Проекционный объектив | 1977 |
|
SU651294A1 |
| ПЛАНАХРОМАТИЧЕСКИЙ КВАРЦ-ФЛЮОРИТОВЫЙ ОБЪЕКТИВ МИКРОСКОПА | 2006 |
|
RU2338228C2 |
| Проекционный объектив с увеличением - 1/5 @ | 1990 |
|
SU1758624A1 |
| Проекционный объектив с увеличением -1/5 @ | 1988 |
|
SU1587461A1 |
| ОБЪЕКТИВ С ТЕЛЕЦЕНТРИЧЕСКИМ ХОДОМ ЛУЧЕЙ | 2006 |
|
RU2305857C1 |
| Проекционный объектив с увеличением - 1/5 @ | 1985 |
|
SU1303972A1 |
| ОПТИЧЕСКАЯ СИСТЕМА ПРОЕКЦИОННОГО БОРТОВОГО ИНДИКАТОРА | 2012 |
|
RU2518863C1 |
Изобретение относится к оптически системам и может найти применение в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования. Известен объектив для ультрафиоле товой области спектра, с увеличением , апертурой 0,2. Объектив содержи -10 два трехлинзовых склеенных компонента, разделенных диафрагмой Известен также объектив для видимой и ультрафиолетовой « бластей спектра с увеличением апертурой 0,25. Он состоит из трех компонентов: первый компонент - плоско-выпуклая линза, а второй и третий трехлинзовые несклеенные компоненты 2 .. Однако оба эти объектива предназн чены для микроскопа, и не могут быть исггользованы в проекционных системах экспонирования для получения субмикронных элементов из-за малых апертур, поля зрения, а также недостаточ ной коррекции аберраций. Наиболее близким к предлагаемому является объектив, содержащий пять компонентов, из которых первый и вто рой - положительные двухлинзовые склеенные компоненты, третий - одиночная положительная линза, четвертый - положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, пятый - двухлинзовый склеенный отрицательный мениск, обрсиценный выпуклостью к плоскости предметов и диафрагму, расположенную между парами и вторым компонентами. Объектив работает с увеличением , апертурой 0,3 полем зрения 50 мм З . Недостатком объектива является невозможность использования его для получения субмикронных элементов при экспонировании в ультрафиолетовой области спектра из-за недостаточной апертуры, неисправленных аберраций в эгой области спектра и наличия линз , выполненных из материалов, непрозрачных в ультрафиолетовой области спектра., Цель изобретения - улучшение аберрационной коррекции в ультрафиолетовой области спектра. Поставленная цель достигается тем, что в объектив, содержащий расположенные одна за другой три положительные линзы и два мениска, обращенных вогнутостью к плоскости изображения первый из которых положительный и диафрагму, расположенную между первой
и второй линзами, введены два отрицательных мениска, расположенных между первой линзой, представляющей собой положительный мениск/при этом первый из отрицательных менисков обращен вогнутостью к изображению и расположен от плоскости диафрагмы на расстоянии Л,8 фокусного расстояния объектива, второй обрёоден вогнутостью к предмету и расположен в непосредственной близости к диафрагме, а последний из менисков выполнен положительным.
На чертеже представлена принципиальнг1я оптическая схема объектива.
Объектив состоит из семи компонентов, разделенных диафрагмой.
Первый компонент: полс«сительный мениск 1, обращенный вогнутостью к предме ту 2, выполнен из флюорита с соотношением радиусов 4,92:1.
Второй компонент: отрицательный мениск 3 обращенгай вогнутостью к изображению 4 и выполненный из кварца с соотношением радиусов 1,44:1, расположен от плоскости диафрап 5 на расстоянии 0,8 фокусного расстояния объектива.
Третий компонент: отрицательный мениск 6, обращенный вогнутостью к предмету 2,выполненный из кварца с соотношением радиусов 0,51:1 и расположенный в непосредственной близости к диафрагме 5.
Четвертый компонент: двсзяковьлпуклая положительная линза 7,выполненная из флюорита с соотношением радиусов 7,78:1.
Пятый компонент: двояковыпуклая положительная линза 8, выполненная из флюорита с соотношением радиусов 0,38:1.
Шестой компонент: положительный мениск 9, обращенный выпуклостью к пред мету и -выполненный из флюорита с соотношением радиусов 0,2:1
Седьмой компонент: положительный мениск 10, обращенный вогнутостью к изображению 4, выполненный из кварца с соотношением радиусов 1,42:1.
Предлагаемый объектив рассчитан для ультрафиолетовой области спектра при высокой степени коррекции аберраций, что дает возможность получать . субмикронные элементы порядка О ,5 мкм. Таким образом, применение данного объектива позволяет повысить произвЬдительность труда при использовании его в проекционных системах экспонирования.
Формула изобретения
Проекционный объектив с увеличением 0,1, содержащий расположенные одна за другой три положительные линзы и два мениска, обращенных вогнутостью к плоскости изображения, первый из которых положительный, и диафрагму, установленнук) между первой и второй положительными линзами, о т л. ичающийся тем, что, с целью улучшения аберрационной коррекции в ультрафиолетовой области спектра и увеличения апертуры до 0,45, в него введены два отрицательных мениска, расположенных между первой положительной линзой, представляющей собой положительный мениск, и диафрагмой, при этом первый из отрицательных менисков обращен вогнутостью к изображению и расположен от плоскости диафрагмы на расстоянии 0,8 фокусного расстояния объектива, второй обращен вогнутостью к предмету и расположен в непосредственной близости к диафрагме, а последний из менисков также выполнен положительным. ,
Источники информации, принятые во внимание при экхзпертизе
f
/.
/
у у,
Хх
