Способ контроля отклонения профиля асферических поверхностей оптических деталей Советский патент 1979 года по МПК G01B11/24 G01B9/02 

3 ся то, что даже незначительный взаимный наклон контролируемого и эталонного зеркал, находящийся в пределах относительно жестких допусков, приводит все же к искажению интерференционной картины, соответствующей идеальному профилю контролируемой детали. Это снижает- точность определения отклонения профиля от заданного, что допустимо при изготовлении деталей, к качеству которых не предъявляются достаточно серьезные требования, но недопустимо для первоклассных деталей. Для контроля высокоточных асферических поверхностей высокого порядка, очевидно, требования к допускам должны быть значительно выше, что практически затруднительно выполнить в данных способах контроля. Другим недостатком указанных спо собов является низкая производительность контроля. Это вызвано длительностью процесса выставления оптических элементов в схеме контроля изза жестких допусков на взаимное положение зеркал. Цель изобретения - повыиение точности и производительности контроля Поставленная цель достигается тем что вершину контролируемой поверхнос ти устанавливают в центре кривизны эт-алонного сферического эерксша. На чертеже изображена схема, реализующая предлагаекый способ контро ля . Способ предназначен для ксчтроля асферических поверхностей высокого порядка, радиус при вершине у которых превосходит 100 м и профиль кон ролируемой поверхности определен уравнением X ау + ву + В предлагаемом способе для контр ля асферических поверхностей высоко го порядка оптических деталей испол зуют неравноплечий интерферометр 1, включающий источник 2 света, образцовое зеркало 3, светоделительный элемент 4, плоское реркало 5 и эталонное сферическое вогнутое зеркало б. Устанавливают источник -2 света и терферометра 1 в фокусе сферического зеркала 6. Плоское зеркало 5, ка дополнительный элемент, применяют в схеме для изменения направления пуч ка луч.ей и обеспечения более удобно го подхода к фокальной плоскости. BepLauHy А исследуемой асферической поверхности детали 7 совмещают с центром кривизны С сферического зер кала 6, т .е.. расстоянию АО между вер :иной О сферического зеркала б и вер ииноЛ асферической поверхности 7 придают 3Ha4eHi:e, разное величине радиуса R кривизны сферического зер ка.па 6. При этом для достижения бол хТ: точности KOHTpoJ H используют вогнутое эталонное сферическое зерк 0 о б, радиус кривизны которото определяют выражением R--j, (в - коэффициент уравнения профиля контролируемой асферической поверхности при четвертой степени высоты зоны у). Направляют расходящийся пучок лучей (со сферическим волновым Фронтом), исходящий из неравноплечего интерферометра 1, на эталонное зеркало 6. Плоское зеркало 5 при этом служит для изменения направления лучей. После отражения от сферического зеркала б пучок лучей посылают на асферическую поверхность детали 7. Лучи, вернувшиеся обратно, вновь падают на сферическое зеркало, б, отражаются от него и от диагонального зеркала 5 и затем проходят через светоделительный элемент 4 интерферометра 1, Лучи, отраженные от образцового зеркала 3 интерферометра 1 и вернувшиеся обратно от сферического зеркала б, строят в плоскости экрана 8 соответственно два изображения 2 и источника 2 света. Эти изобрашения совмещсиот, после чего регистрируют интерференционную картину, по которой производят контроль отклонения профиля асферической поверхности оптической детали от заданного. Предложенный способ контроля реализуют в схемах с относительным отверстием А до А (1-2,5). Формула изобретения Способ контроля отклонения профиля асферических поверхностей оптических дэталей от заданного с использованием эталонного сферического зеркала и неравноплечего интерферометра с источником света и с зеркалом, заключающийся в том, что направляют пучок лучей от источника света на эталонное зеркало, контролируемую детс1ль устанавливают по ходу лучей за эталонным зеркалом, регистрируют интерференционную картину, полученную в результате взаимодействия пучков лучей, отраженных от контролируемой детали и от зеркала интерферометра, по которой производят контроль, отличающийся тем, что, с целью повыиения точности и производительности контроля, вершину контролируемой поверхности устанавливают в центре кривизны эталонного сферического зеркала. Источники информации, принятые во внимание пои экспертизе 1. Рубинов М.М. Несферические порерхности в оптике. М., Машгиз, 1962, с. 281, рис. 132. 2. Максутов Д. Д. Изготовление и исследование астрономической оптики. М., Машгиз, 1958, с. 245. S