Способ получения покрытий на основе вольфрама и молибдена Советский патент 1979 года по МПК C23C11/00 

3 бочей температуре 2000С снижается до 9 кг/мм, что близко к пределу прочности столбчатого вольфрама 7 кг/мм. Целью изобретения является повышение жаропрочности получаемых покры тий. Цель достигается тем, что в газообразную смесь дополнительно вводят 5-25 мол. % четыреххлористого циркония и процесс ведут при 1100-1бОО С, Предложенный способ обеспечи вает благоприятные термодинамические условия для образования и равномерного распределения в структуре осаж даемого металла частиц карбида цирк ния, которые более дисперсны, чем частицы карбида вольфрама, и более УСТОЙЧИВЫ к высокотемпературному воздействию. В результате предел прочности, например, для вольфрама повьваается по Сравнению с известным способом в 2,5-3,0 раза при рабочей температуре и в 1,5-2,0 раза при 2000 С. Максимальная температура, при которой сохраняется эффект упрочнения, равна для предложенного способа . 8 Снижение температуры осаждения ниже способствует образованию наряду с карбидом циркония значительных количеств карбида вольфрама; увеличение температуры выше сопровозкдается разложением четыреххлористого циркония в объеме. В обоих случаях ухудшается качество получаемых покрытий. Давление в системе не играет существенной роли и может изменяться в широком интервале (1-760 мм.рт.ст.). Пример. Молибденовую трубку размере 4x0,5 мм помещают в реакционную камеру и нагревают прямым пропусканием электрического тока. Через реакционную камеру пропускгиот газообразную смесь фторкда вольфрама или молибдена, четыреххлористого циркония, метана и водорода. После охлаждения слоя толщиной 1,0-1,5 мм подложку с осалсденным покрытием разрезают на заготовки, удаляют подложку и полученные образцы испытывают на прочность при различных температурах. Условия проведения процесса и результаты испытаний представлены в таблице.