Акселерометр Советский патент 1979 года по МПК G01P15/08 

(54) АКСЕЛЕРОМЕТР

Изобретение относится к измери- тельной технике и предназначено для измерения ускорения. Известны механотронные акселерометры, представляющие собой электрон ные лампы, управление электродами которых производится механически. Такие приборы включают две основные системы: кинематическую, содержащую упругий элемент, инерционную массу и другие подвижные детали, и электродную, в которую входят совокупност подвижных и неподвижных электродов прибора 1. Наиболее близким по технической сущности является механотронный акселерометр, содержащий корпус, распо ложенный в нем упругий элемент с закрепленной на нем инерционной массой и чувствительный элемент 2. Его недостатки - сложная конструк ция, сравнительно низкая чувствитель ность, небольшой диапазон измеряемьох ускорений, отсутствие возможности корректировки выходной характеристики, Цель изобретения - гговышение чувствительности акселерометра и расширение диапазона измеряемых ускоре ий. Указанная цель достигается тем, что в акселерометр введен нагреватель, а чувствительный элемент выпо.пнен в виде двух нитевидных монокристаллов, расположенных соосно на жестко связанном с инерционной массой стержне, коаксиа.пьно которому установлен нагреватель. На чертеже изображен общий вид конструкции акселерометра. Акселерометр содержит корпус 1, который представляет собой мета.ллическую конструкцию, состоящую из двух частей, соединенных герметично через прокладку 2 при помощи болтов, в котором укреплен упругий элемент 3, выполненный в виде сильфона. В свободном конце сильфона закреплена инерционная масса 4, прикасающаяся с направляющей 5 стержнем. Диэлектрический стержень 6 жестко соединен с инерционной массой. На нем закреплены два полупроводниковых чувствительных элемента 7 - нитевидные монокристаллы, размещенные вдоль оси нагревателя В, в области среднего значения градиента температурного поля рабочего участка характеристики нагрювателя. Электрический вырод чувствительных элементов осуществлен через