Установка для нанесения на подложку эмульсии с консервацией ее защитной пленкой Советский патент 1979 года по МПК B05C1/08 B05C9/12 

На чертежах схематично изображена установка, где: на фиг. I - изображен общий вид установки; на фиг. 2 - разглаживающий стержень; на фиг. 3 дополнительные валки; на фиг. 4 - вал с тепловой подготовкой эмульсии перед ламинированием; фиг. 5 и фиг. 6 -

ПШЁГад.---,;. . ; , -..

Установка для нан еСейия эмульсии с консервацией защитной плеИкрй срСтелит из тййута ешвайКовозгоп 1, вакуумной камеры 2, раздаточной бобины 3 для подложки, стержня 4, ванны для эмульсии 5, сушильной камеры 6 с нагревателем 7, сушильной камеры 8, раздаточной бобины для защитной пленки 9, опорного вала 10 с подторма5киванием для натяжения зао итной пленки, узла ламинирования 1Г/ вала 12с тепловой подготовкой эмульсии перед ламинированием, валков 13, служащих для предотвращения отслоения защитной пленки, прижимного вала 14, приемных бобин 15, расположенных на вертлюге 16, опорных валов 17, Предварительной терморадиационной камеры 18, наклойных направляющих 19, узла натяжения подло)чки, состоящего из резиновых валов 20 и резинового с подтормаживанием 21, вала ориeHTkposiKM и разглаживания пленки 22, Механизма изменения дуги прогиба 23, многовыходного редуктора 24 для обеспёчения рабйомерн зго тянущего усилий рольганга при одинаковой oKt y«ности скорости валов, тэнов 25 для обогрева вала 12.

Устройство работает следующим об разом. Перемещение пбдложкй осУщёствляется при помощи тянущего валковоз о Ъривода 1, состоящего из электродвигателй 1Гоа1оянного тока, ременной передачи, многовыходного редуктора 24 и J вакуумной камеры 2. Валки тянущего привода вращаются в Одном направлении с одинаковой пост оянной скоростью, т. к. все червячнне йголеса находятся в зацеплении с одним большим червяком.Между цапками предусмотрены щели, необходикйё для отсоса воздуха вентилятором высокого давления в вакуумной камере, что способствует плотному йрипе ганию подложки к вращакидамся валкам.

Подложка с раздаточной бобины 3 перемещается по узлу натяжения 20, 21, средний вал притормаживается с н.еобходймьси усзилием, что создает поГс%рйнноё натяжение пойложки от узла натяжения 20, 21 дд /тянущего ВалкОвого привода 1. ;

Далее подложка перемевхается по стержню 4 с Механизмом йзмёнёйй йУги прогиба 23, обёспёчийакнйему рйзглаживание подложки по ширине, что СрэдсСет условия для равномерного рас пЬвделенйя эмул:Ьсии.

При прохождении подложки с нанесенным слоем эмульсии над предварительной терморадиационной сушильной камерой 18 подсушивается влага на ее нижней поверхности и фиксируется нижний слой эмульсии, подготавливая эмульсию к интенсивной сушке в cj «айльных камёрах 6, 8. Сушка происхоДит за счет нагнетания вентилятором воздуха через нагреватели 7 в камере и выброса его чере патрубок в венти0 15 ляционную систему.

При подходе подложки с высушенным слоем эмульсии к валу 12 (вал в зависимости от состава эмульсии при необходимости нагревается до требуемой температуры тэном 25) происходит склеивание ее с защитной пленкой с помощью узлаламинирования 11, состоящего из вала ламинатора и прижимного Вала при регулируемом усилии прижима.

защитная пленка перемещается перед ламинированием по стержню 4с мехаНйзмом изменения дуги прогиба 23, по опорному валу с подтормаживанием, необходимым для натяжения защитной пленки.- , -

После ламинирования готовый фоторезист, состоящий Из пЬдложки с эмульсией И защитной пленки, перемещается по валу 22 с ориентацией относительно

0 35 оси перемещения, по тянущему валковому приводу 1, где установлены валки 13, служащие для предотвращения отслоения защйтной пленки от подложки с эмульсией (из-за различного коэффициента линейного Удлинения), располойсеййые на йаклонйых направляющих, йа приемную бобину 15. Приемная 60бина имеет привод подмотки, служащий . для бОлее плотной намотки готового изделия, состоящи{ из электродвигателя переменного тока с возможностью работы в заторможенном режиме длительйое время, соединительной муфты, редуктора, ременной передачи, муфты сцепления привода с бобиной (привод

5 50 55 на чертеже не показан). :

Вал 14 Служи для разравнивания готового фоторезиста на приемной бобине 15. При достижении требуемого диаметра на приемной бобййё отключаются муфта; сцепления и фиксатор, вертлюг 16 с пустой бобиной поворачивается в исходное положение, перекидывается пленка, включаётсймуфта сцеплегния И происходит намотка на другую бобину.. Пленка на готовой бобине отрезается и снимается с вертлюга при йёпрёрывной работе тянущего механизма 1.

Э1 онс ический эффект ОТ йспользо0 65 вания данного устройства составит около 1 млн. рублей.

Формула изобретения 1. Установка для нанесения на под- эмульсии с консервацией ее защитной пленкой, содержащая раздаточные бобины для подложки и ЗсЦДИТНОЙ

пленкн, натяжное устройство, ванну для эмульсии, устройство для сушки покрытия, ламинатор, тянуыий валковый и приемный механизмы, о т л и чающаяся тем, что с целью предотвращения отслоения защитной пленки, тянущий валковый механизм снабжен наклонными направляющими со свободно установленными на ник между валками тянущего механизма дополнительными валками.

2. Установка по п. 1, отличаю ща я с.я тем, что она снабжена стержнями для разравнивания подложки и защитной пленки с механизмат. ми изменения дуги прогиба.

3. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что приемный механизм выполнен в виде вертлюга с бобинами.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

0

1.Патент СССР 372778, кл. В 05 С 1/14, 1969.

2.Патент Великобритании № 1338794, кл. В 2 L, опублик. 1973 (прототип).

Фиг.З

12

Фиг.5

fuef