(54) СПОСОБ СОЕДИНЕНИЯ СТЕКЛА С МЕТАЛЛОМ
1 . Изобретение относится к технологи изготовления металлостеклянных вакуумно-плотных соединений и предназначено для использования в радиотехнической, электронной, приборостроительной и электротехнической отрас.лях промышленности при изготовлении оснований корпусов i KpocxeM, цоколей микрореле, выводов энергии и т.п изделий. Известен способ соединения стекла со стеклом, кварцем, керамикой или металлом путем приведения деталей в тесный контакт, нагрева и приложения разности потенциалов меяц;у деталями 1, Недостатком этого способа является использование промежуточного сло для соединения деталей. Наиболее близким кизобретению по технической .сущности является способ соединения стекла с металлом путем приведения их в тесный контакт, нагрева до температуры ниже точки . начала размягчения стекла, при которой достигается достаточная его с последующим электропроводность, приложенйтем разности потенциалов меж ду деталями и спаиванием их,причем к металлу прикладывают положительный потенциал. Ток, проходящий в направлении от металла к стеклу, обеспечивает соединение поверхности за счет анодного окисления металла 2, Однако такой способ не обеспечи,вает герметичного соединения бесщелочного стекла, содержащего окислы металлов переменной.валентности, с металлом, например титаном и его сплавами, вследствие образования окисных пленок, недостаточно прочно связанных с самим металлом. Цель изобретения - повышение герметичности соединения бесщелочного стекла, содержащего окислы металлов ; переменной валентности, с титаном и его сплавами. Поставленная цель достигается тем, что при способе соединения стекла с металлом путем нагрева с последующим приложением разности потенциалов между деталями и спаиванием их к металлу прикладывают отрицательный потенциал при плотности тока 1001000 мА/мм . Стеклог нагребаясь до расплавления, начинает контактировать с металлом. На границе стекло - металл за счет разности потенциалов возникают силы электростатического притяжения, вызывающие улучшение; смачивания металла расплавом стекла, что приводит к их контакту по всей спаиваемой поверхности. Металл имеет относительно стекла отрицательный потенциал, поэтому через приведенные в контакт поверхности идет ток в направлении от стекла; к металлу, вызываквдий катодное восстановление на металле катионов пе ременной валентности, содержащихся в расплаве стекла. Восстановленные катионы образутот с металлом соединения типа интерметалидов, которые создают развитый переходный слой, обеспечива кядий повышение герметичности спая, поскольку сцепление стекла с металлом значительно превышает сцепление пленок с титаном по известному техническому решению. П р и мер. Проводят спаивание стеклоизолятора из бесщелочного стбкла, содержащего;окислы меди и железа с основаниями корпусов микросхем из титана. Тип спая глазковый. В качестве вводов используют коваровые штыри. Количество спаев в одном основаНИИ - 14. Собранные детали помещают в печь инфракрасного нагрева с защитно;й а тмосферой аргона. К основанию из титана прикладывают отрицательный, а к вводу - положительный потенциалы от источника постоянного тока при плотности тока 500 мА/мм. В момент оплавления стеклоизолятора его внутреннее отверстие,заплавляется и положительный потенциал передаётся на стекло. Далее расплавленное стекло контактирует с цилиндрической поверхностью отверстия и под действием разности потенциалов смачивает ее. На поверхности титана восстанавливаются катионы меди и железа, образующие развитый переходный слой ин,терметалидов, что обеспечивает герметичное соединение стекла с металлом с натеканием по гелию менее 1 X 10 л мкм/с. Использование данного способа обеспечивает увеличение выхода годных изделий по герметичности и повышение их надежности и долговечности. Формула изобретения Способ соединения стекла с металлом путем нагрева с последующим приложением разности потенциалов между деталями и спаиванием их, о т л и чаютцийся тем, что, с целью повышения герметичности соединения бесщелочного стекла, содержащего окислы металлов переменной валентности, .с титаном и его сплавами, к металлу прикладывают отрицательный потенциал при плотности тока 100-1000 мА/мм Источники информации, принятые во внимание При экспертизе 1.Патент США № 3506424, кл. 65-40 опублик. 1970. 2.Патент США№ 3397.278, ;кл. 174-52, опублик. 1968.
