(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОБРАЗЦОВ С КОСЫМ ИШИФОМ МЕТОДОМ ТРАВЛЕНИЯ,
Устройство сострит из нижней емкости 1, держателя 2, образца 3, укрепленного в емкости 1, дополнительной верхней емкости 4, размещенной над емкостью 1 на подставке 5, и трубки б, соединяющей емкости 1 и 4.
Емкости 1 и 4 и трубка б выполнены из фторопласта. с емкостью 1 трубка б соединена у ее основания, а в мкость 4 вхбдит через верхнюю ее часть и проходит до основания.
Емкости заполнены травителем, начальная точка травления образца располагается на уровне травителя ем-.; кости 1, а уровень травителя емкости ,4 относительно уровня травителя емкости 1 располагается на расстоянии определяемом по формуле (1).
Устройство работает следующим образом.
Для получения косого шлифа на образце 3, установленном в держателе 2 в вертикальном положении, осуществляют равномерное наполнение емкости 1 из емкости 4 травителем через трубку б, сообщающуй. оба сосуда. Емкость 4 установлена на подставке 5 относительно держателя 2 образца 3 так, чтобы изменения уровней травителя в емкостях 1 и 4 практич:ески не изменяли бы скорость наполнения емкости 1. Чтобы обеспечить йЛавнЪсть наполнения и исключить появление ряби на поверхностй травителя в емкости 1 один конец трубки б подведен к ее основанию. При лнаполнении емкости травителем различные участки образца травятся разное время, .в результате чего угол скоса (наклона) получаемого шлифа зависит от соотношения скоростей травления и наполнения емкости 1 травителем. Скорость травления определяется . составом травителя. Скорость наполнения варьируется в широком диапазоне значений изменением величины отношения площади основания .емкости 1 к поперечному се,чению соединительной трубки. Таким образом, при подборе соответствутоЩего состава травителя и необходимой скорости наполнения можно получать косые шлифы с заданным углом наклона.
Поскольку скорость травителя (V ) неизменна, а высота расположения сосуда с травителем такова, что наполнение травителем сосуда с образцом можно считать равномерным, , то для оценки минимального угла наклона косого шлифа можно получить:
(г-)
&гЩ
Таким образом, при заданной величине угла наклона шлифа ос из вы(2) определяется значение Н
. /S.V.
Н iJr
(3)
с учетом в-язкости и трения травителя 5 при течении по трубке 6 равенство (3) примет вид:
H.L/h: ...
g Urteocj (1
откуда
,l/rgH (5)
где d - толщина эпитаксиального слоя
U - длина участка образца. При этом зная толщину эпитаксие ального слоя d, исходное соотношение5,/8т может быть ь выбрано так, чтобы на фиксированной длине i получить косой шлиф с четкой границей раздела слой-подложка. Данная граница служит контрольной точкой или началом отсчета при различных исследованиях, в частности при концентрационных измерениях эпитаксиальных структур или при измерении толщины эпитаксиального слоя.
Перед изготовлением косых шлифов поверхность подложки и часть поверхности зпитаксиальнОго слоя образцов покрывают химически стойким лаком. Это, с одной стороны, уменьшает истощение травителя, а с другой дает воз можность сопоставить исходную и стравленную поверхности образца.
Формула изобретения
Устройство для изготовления образцов с косым шлифом методом травления, включающее емкость, заполненную травителем, и держатель образца, отличающееся тем, что, с целью повышения качества поверхности шлифа и обеспечения линейности его профиля, оно снабжено расположенной над первой дополнительной емкостью,
заполненной травителем; и трубкой, соединяющей емкости, причем образец размещен ла уровне травителя нижней емкости, а расстояние между уровнями травителя в емкостях определяется по
формуле
.f 2g(s,tg4
где g - ускорение свободного падения Sg - площадь основания нижней ёмкости,
S, - площадь сечения трубки, Vj - скорость травителя «. величина заданного наклона
шлифа.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Журнал Заводская лаборато- рия, 7, 1972, с. 823-824.
J
/
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Устройство для изготовления образцов с косым шлифом | 1981 |
|
SU994959A1 |
СПОСОБ ПОСЛОЙНОГО АНАЛИЗА ТОНКИХ ПЛЕНОК | 2002 |
|
RU2229116C1 |
Устройство для изготовления образцов с косым шлифом травлением | 1984 |
|
SU1171692A1 |
Способ определения толщины эпитаксиального слоя кремниевых структур | 1989 |
|
SU1767582A1 |
УСТРОЙСТВО ХИМИКО-ДИНАМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ ГЕРМАНИЕВЫХ ПОДЛОЖЕК | 2015 |
|
RU2589517C1 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ НА ИЗОЛЯТОРЕ СТРУКТУР | 1992 |
|
RU2070350C1 |
СПОСОБ КОНТРОЛЯ СТРУКТУРНОГО СОСТОЯНИЯ ЗАКАЛЕННЫХ НИЗКОУГЛЕРОДИСТЫХ СТАЛЕЙ | 2012 |
|
RU2498262C1 |
Устройство для отделения от подложки композитной структуры на основе полупроводниковой пленки (варианты) | 2018 |
|
RU2683808C1 |
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРЕМНИЕВЫХ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР С ВНУТРЕННИМ ГЕТТЕРОМ | 1990 |
|
SU1797403A1 |
УСТРОЙСТВО ХИМИКО-ДИНАМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ ГЕРМАНИЕВЫХ ПОДЛОЖЕК | 2013 |
|
RU2520955C1 |
Авторы
Даты
1980-02-15—Публикация
1977-04-11—Подача