Устройство для изготовления образцов с косым шлифом травлением Советский патент 1985 года по МПК G01N1/32 

0д

.g

Изобретение относится к технике подготовки образцов, к исследованию свойств полупроводниковых материалов и может быть использовано для контроля качества материалов в производстне полупроводниковых приборов и для научных исследований.

Цель изобретения - улучшение линейности профиля косого шлифа и увеличение безопасности работы.

На чертеже изображено устройство, общий вид.

Устройство содержит ванну 1, дополнительную емкость 2, держатель 3 образцов 4, травитель 5, перегород ку 6, разделяющую ванну ,на части 7 и 8, нейтральную жидкость 9, находящуюся в дополнительной емкости, трубопровод 10 непрерывного подвода нейтральной жидкости в емкость 2, . постоянный слив 11 из этой емкости, промежуточную емкость 12, расположенную в части 8 ванны 1, трубку 13, которая соединяет емкости 2 и 12 и имеет зажим 14, регулирующий кран 15 и жгут капилляров 16, соприкасающихся с поверхностью нейтральной жидкости в промежуточной емкости 12 и вьтолненный в виде пучка нитей, прикрепленных к нижнему концу трубки

Улучшение линейности профиля косого достигается за счет постоянной скорости подъема уровня травителя, что обеспечивается равномерность погружения в травитель промежуточной емкости с помсяцью подачи нейтральной жидкости из дополнительной емкости 2 по трубке 13. При этом трубопровод непрерывного подвода 10 и постоянный слив 11 поддерживают УРО вень нейтральной жвдкости в дополнительной емкости постоянным, регулирущий кран 15 обеспечивает требуемую скорость подачи нейтральной жидкоети в промежуточную емкость, а наличи жгута капилляров предохраняет поверхность от падения капель и сохраняет независимость скорости вытекания нейтральной жидкости из верхней емкости от уровня ее в промежуточной емкости. Расположение центра тяжести промежуточной емкости ниже уровня травителя, а также наличие жгута капилляров исключают появление волнисто.й поверхности шлифа за счет падения капель нейтральной жидкости и качания промежуточной емкости.

Безопасность работы увеличивается благодаря тому, что травитель находится только в одной емкости, а так.же благодаря тому, что соприкасающиеся с травителем части установки: промежуточная емкость и держатель с образцами, расположены компактно в ванне, что позволяет манипулировать ванной при нейтрализации травителя без разборки установки.

Устройство работает следующим образом.Образцы 4 устанавливают с помощью держателя 3 в вертикальном положении в ванне 1. Поверхность образцов, не подвергающуюся: травлению, покрывают химически стойким лаком. Ванну 1 заполняют травителем 5 (например, HNOg : HF 20:1), которьш не касается образцов. В дополнительную емкость 2 непрерывно подают нейтральную жидкость 9 со сливом 11 и поддерживают ее уровень Н постоянным. Как только уровень жвдкости в дополнительной емкости 2 установится, Т-. е. гидравлический напбр будет определяться величиной Н, открывают зажим 14 на соединительной трубке 13 и, при заранее установленной краном 15 скорости, подают жвдкость 9 в промежуточную емкость 12. Уровень жидкости в промежуточной емкости 12 не влияет на гидравлический напор, так как трубка 13 соприкасается с жидкостью в течение всего времени травления через гибкий жгут капилляров 16 (например, пучок ниток), поэтому промежуточная емкость 12 равномерно заполняется жидкостью, вызывая равномерньй подъем уровня травителя в ванне. ф1я устранения качаний промежуточной емкости 12 центр тяжести ее находится ниже уровня травителя в .ванне 1 .

Различные участки образцов будут находиться в травителе 5 различное время, в результате образуется угол скоса шлифа, зависящий как от скорости подачи жидкости в промежуточную емкость 12, так и от скорости травления .

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОБРАЗЦОВ С КОСЫМ ШЛИФОМ ТРАВЛЕНИЕМ, содержащее ванну с травителем, разделенную перегородкой на две сообщающиеся части, в первой из которых находится держатель с образцами, дополнительную емкость, расположенную над ванной, и соединительную трубку, от л ич ающ ее с я тем, что, с целью улучшения профиля косого шлифа и увеличения безопасности работы, вторая часть ванны снабжена промежуточной емкостью с нейтральной жвдкостью, плавающей в травителе, причем центр тяжести промежуточной емкости находится ниже уровня травителя, дополнительная емкость снабжена трубопроводом непрерывной подачи нейтральной жидкости и сливом, а соединительi ная трубка снабжена зажимом, регулирующим краном и жгутом капилляров, СЛ концы которых погружены в нейтральную жидкость промежуточной емкости. С