Устройство для изготовления подшипников Советский патент 1980 года по МПК C23C15/00 

Устройство работает следующим образом. После откачивания вакуумной системы ее наполняют рабочим газом, например аргоном, и создают напряжение между электродами (3 и 4). Затем прикладывают постоянный потенциал к подшипникам через подложкодержатель - катод 5. Образующееся на подщипниках отрицательное смещение вызывает бомбардировку деталей и масок положительными ионами другого разряда между электродами и распыление их. Распыление с боковых стенок профильных окон масок политетрафторэтилена приводит к заполнению зазора между маской и деталью, и на поверхности трения под щипника вместо загрязнения образуется смазочное покрытие, так как политетра торэтилен обладает хорошими смазочными свойствами, в частности, в тонких покрытиях. Пример конкретного технологического режима обработки. Материал обрабатываемой Окись алюминия, детали (подпятник диаметром нанесенная детона30 мм)ционным способом Материал маскиПолитетрафторДавление рабочего газа в вакуумной системе, мкм рт. ст. Ток плазмообразующего разряда, А Напряженность стабилизирующего плазму магнитного поля; Э Частота потенциала, МГц Скорость травления. А/мин Коэффициент трения подшипника, обработанного на описанном устройстве, снизился с 0,4 до 0,2 по сравнению с устройством, в котором маска выполнена из металла. На приведенной схеме изображена система триодного распыления, однако может применяться устройство, работающее в диодном режиме, т. е. с выключенным дуговым разрядом. Изобретение может быть использовано при изготовлении газовых подшипников с различной конфигурацией канавок и карманов и других видов деталей узлов трения. Формула изобретения Устройство для изготовления подшипников, содержащее вакуумную камеру - анод, подложкодержатель - катод, служащий средством для размещения заготовок и маски с профильными окнами, размещенной на обрабатываемой поверхности заготовок, отличающееся тем, что, с целью улучшения антифрикционных характеристик обработанных поверхностей заготовок, маска изготовлена из политетрафторэтилена. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Пинегин С. В. и др. Газодинамические подпятники со спиральными канавками. М., «Наука, 1977. 2.Грэссем Н. С. и др. Подшипники с газовой смазкой. М., «Мир, 1966, с. 262-264 (прототип).