Способ изготовления угольных реплик Советский патент 1980 года по МПК H01J37/26 

строгом соответствии с углом напыления. Происходит напыление образца углем в течение 3 с. Далее отключают вакуумную установку, вынимают камеру с образцом из-под колокола, закрывают верхнюю часть камеры снятым ранее предметным стеклом. Затем, сняв боковое предметное стекло, обращенное к источнику напыления, камеру с образцом снова помещают на расстоянии 130 мм от испарителя под колоколом вакуумной установки. Угол напыления 45°. Производят откачку воздуха до 10 тор, импульс тока 70А и в течение трех секунд повторяют процесс напыления. После этого образец вынимают из камеры, на напыленную поверхность его наносят теплый желатин, высушивают, снимают желатиновую пленку и отмывают в теплой воде.

Как показали испытания, использование изложенного способа позволяет в 2-3 раза уменьщить размеры зерен в реплике. Так, при реализации известного способа, зернистость наблюдалась при увеличении 20000. При реализации же предложенного способа она проявляется лишь при увеличении 50000. Таким образом, значительно повышается разрешающая способность. Кроме того, использование йредложен ного способа пбзволяет устранить искажение поверхности рельефа образца.

Формула изобретения

1.Способ изготовления угольных реплик путем помещения образцов в вакуумную камеру, откачки ее и напыления угля на поверхность образца в вакууме, отличающийся тем, что, с целью уменьшения зернистости поверхности реплик, получаемых в стеклянных камерах, за счет уменьщения доли угольных частиц в конденсате, отраженных от стенок камеры, перед вакуумированием внутренние стенки камеры покрывают слоем вещества, поглощающего угольные частицы.

2.Способ по п. 1, отличающийся тем, что внутренние стенки камеры покрывают

раствором 98% спирта и 2% канифоли.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Шиммель Г. Методика электронной микроскопии М., «Мир, 1972,-с. 119. 2. Грицаенко Г. С. и др. Методика электронной микроскопии, М., «Наука, 1969, с. 82 (прототип).