Турбомолекулярный вакуумный насос Советский патент 1986 года по МПК F04D19/04 

f

Изобретение относится к вакуумчой технике 5 а именно к конструкциям тур- бомолекулярных вакуумных насосов.

Цель изобретения снижение трудоемкости изготовления насоса.

На фиг. 1 представлен турбомоле- кулярный насос со статорными дисками имеющими основания в виде плоских колец I на фиг 2 - насос со статор ными дискаш-is имеюпр ьж основания в виде ступенчатых колец,

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус , закреп-пенные на его внутренней поверхности статорные диски 2, в основания которых встроены магнитные вставки 3 и размещенный по оси корпуса вал 4 с роторными дисхсгими 5э установленными с зазором относительно статорньк дисков 2, . причем зазоры у основания статорных дисков 2 заполнены смесью 6 из порош ков ферромагнитного материала. Скесь 6 состой из крупного и мелкодисперс кого порошков 9 причем последний со ставляет об,% смеси-,

Насос работает следующим образом.

328512

При вр,аш,ении вала 4 газ со стороны всасывания переносится на сторону нагнетания, взаимодействуя со статорны- :ми 2 и роторными 5 дисками. Выполне5 ние чазоров минимальн1г ми вызвано не- кля)чаилн :. : гЯ7-ных перетечек гаьй со CTOpoHtj нагнетания на сторону всасывания и связано с высокой трудоемкостью изготовления насоса. Заполнение

10 зазора у основания статорных дисков смесью ферромагнитных порошков позволяет увеличить зазоры между дисками и устранить обратные перетечки газа, которые имеют место именно у основаtS НИИ статорных дисков. Смесь удерживается в зазоре магнитным полек вставок 3 и создает большое сопротивление потоку газа в зазоре. Крупный порошок создает как бы несущую решетку, а

20 мелкодисперсный заполняет поры в этой решетке. Случайное касание отдельными частицами порошков роторных дисков 5 не приводит к нарушению работоспособности насоса, поскольку слои порош25 ка легко деформируемы. В результате снижается трудоемкость изготовления насоса при сохранении откачнык характеристик, 1

Составитель В, Кряковкин Редактор А. Козориз Техред О„Сопко КорректорЛ, Патай

Заказ 2751/35 Тиргга: 586Подписное

ВНИИПИ Государственного ког-ситета СССР

по делам изобретений к открытий П3035, Москва, Ж -ЗЗ Раушская наб,, д, 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул„ Проектная,