Устройство для регулирования натекания газа в вакуумную камеру Советский патент 1980 года по МПК G05D7/03 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГУЛИРОВАНИЯ НАТЕКАНИЯ ГАЗА В ВАКУУМНУЮ КАМЕРУ

Изобретение относится к области вакуумной техники, может быть использовано во всех случаях, когда требуются малые, точно колиброванные расходы газа например, в газо вых натекателях вакуумных камер. Известно устройство для регулирования малых расходов газа l. Недостатком известного устройства являются высокие требов.ания к точности изготовления регулирующих элементов, недостаточная точность и малый диапазон регулирования. Известно также устройство для р гулирования натекания газа в вакуумную камеру, содержащее корпус с вхо,цной и выходной диафрагмами,полость между которыми соединена с измерителем давления, и первый рег лирующий вентиль, установленный перед входной диафрагмой 2 . Недостатком известного устройст является невозможность регулирования малых расходов газа (порядка г/с), так как диафрагмы на та расходы изготовить практически невозможно, а регулирующий вентиль в этом случае превращается в самостоятельный натекатель. Целью изобретения является расширение Области применения, устройства. Указанная цель достигается тем, что оно снабжено вторым регулирукядим вентилем, соединяющим полость между диафрагмами с вакуумнасосом. На чертеже изображено предлагаемое устройство. Устройство для регулирования натекания газа в вакуумную камеру содержит корпус 1 с входной 2 и выходной 3 диафрагмами, полость 4 между которыми соединена с измерителем 5 давления, первый регулирующий вентиль б, установленный перед входной диафрагмой 2, и второй регулирующий вентиль 7, соединяквдийполость 4 с вакуумнасосом (вакуумнасос на чертеже не показан). Устройство закреплено на вакуумной камере 8. На корпусе 1 имеются штуцеры 9-10, Устройство работает следующим об- разом. Вакуумная камера 8 находится в рабочем состоянии. Запускается вакуумнасос, полностью открывается регулируняяий вентиль 7 и открывается ре ffl-- jf JlfJC.

-йаиЕ.-«-lA. rf -a4vfi.-4fc

3 -; :.

) V X . .i, / - . ,. jf .(гулирующий вентиль 6 / сообщак ций входную диафрагму 2 с атмосферой. Газ -прОхЩйт через дйафратму 2 в полость 4, из которой часть газа откачивается через вентиль 7, а. оставшаяся часть проходит через диафрагму 3 в ваку гмную камеру 8. Проходное сечеHjie регулирувдего рёнтиля 7 выбй У У У 1 Х } Е Ш максималь йсэг о ра8х@д1, п||6ходящего через, диафрагму 2 при минимальном;рабочем дав лШйЙ ё йбл6Ъти 4, На диафрагме 3

устанавливается свёрхкрйтическйй ре5КйМ истечения газа, расход которого

за висит толькоаггйа.в ления в 6с т и 4. Г1рикрыв яре гулирующий вентиль 7, устанавливаем по измерителю 5 давления в полости 4 трен буемоё давление ,а значит, требуемый расход газа в вакуумную камеру. Изобретение .позволит обеспечить точность регулирования в широком диапазоне измерения расходов.

.6.4.5.0 Формула изобретения

Устройство для регулирования натекания газа в вакуумную камеру, содержащее корпус с входной и выходной диафрагмами, полость между которыми соединена с измерителем давления, и первый регулирующий вентиль, установленный перед входной диафрагмой, отличающееся тем, что, с целью расширения области применения устройства, оно снабжено вторым регулирующим вентилем, соединяющим полость между диафрагмами с вакуумнасосом.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

2.Кремлевский, .Расходомеры, М., Машгиз, 1963, с. 98 (прототип).