Испаритель для нанесения покрытий в вакууме Советский патент 1980 года по МПК C23C13/00 

1

Изобретение относится к области нанесения покрытий испарением в вакууме, конкретнее к устройству испарителей, применяе1«ы в вакуумных установках, например конвейерных, для нанесения покрытий на подложки .

Изобретение может быть использовано для получения беспористых защитных покрытий, например, моноокисью кремния, в частности,на отражателях с целью повышения коррозионной стойкости светоотражающего слоя .

Известен испаритель для нанесения покрытий в вакууме, представляющий собой проволочный испаритель, свитый в виде конической спирали из тугоплавкого металла 1 ,

Однако этот испаритель не обеспечивает получения беспористого покрытия, вследствие выброса макроскопических частиц, пробивающих получающуюся на подложке пленку.

Цель изобретения - повышение качества покрытия.

Достигается это тем, что у испарителя, выполненного в виде конусообразной спирали из тугоплавкого материала, спирали выполнены с переменным шагом, увеличивающимся от основания конуса.

На фиг, 1 изображен предложенный испаритель, общий вид; на фиг. 2 приведена вакуумная камера, общий вид, в которой предложенный испаритель использован для нанесения беспористой защитной пленки на отражающее алюминиевое покрытие.

10 Предлагаемый испаритель .представляет собой конусную спираль, свитую из проволоки 1 тугоплавкого металла, например молибдена, к концам которой подводится ток. Шаг навивки

15 спирали - переменный и увеличивается от основания конуса. В нижней части конуса размещена навеска 2 испаряемого материала, например моноокиси кремния,

20 В вакуумной камере конвейерной установки для нанесения испарением в вакууме светоотражающего покрытия повышенной коррозионной стойкости на отражатели фар, отражатели 3

25 располагаются с боковых сторон и

на одинаковом расстоянии от- испарителя 4 параллельно оси конуса, в нижней части которого размещена навеска моноокиси кремния 2, распыляемая после нанесения алюминиевого, / v -J светоотражающего слоя от испарителя 5, также располагаемого между рефлекторами на одинаковом расстоянии от последних в одной плоскости с испарителем моноокиси кремния. В указанной установке вакуумные камеры входят в состав автономных постов металлизации, перемещаемых замкнутым цепным конвейером, причем каждый из постов снабжен откачными тройствами, станиной-тележкой и блоком автоматического управления процессом нанесения покрытия. Как показали проведенные испытания отражателей, применение предложенного испарителя в виде конусообразной спирали с переменным шагом, увеличивающимся от меньшего диаметра конуса с размещенной в ней навеской испаряемого материала, позволяет более, чем в 6 раз повыси коррозионную стойкость отражающего 9.; ,Т пй рь1тия .за счет получения беспористой загцитной пленки и соответственно увеличить срок службы оптических элементов фар. Формула изобретения Испаритель для нанесения покрытий в вакууме, выполненный в виде конусообразной спирали из тугоплавкого металла,отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытия, спирали выполнены с переменным шагом, увеличивающимся от основания конуса. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1, Давыдов Б,С, Вакуумное нанесение тонких пленок. М,, Энергия, 1967, с. 221, рис. 3-52 И (прототип),

Фиг1