Устройство для обработки плоских поверхностей деталей Советский патент 1980 года по МПК B24B37/04 

.1 . Изобретение относится к абразивн обработке и может быть использовано для полирования полупроводниковых/ пластин, сапфира, рубина.и т.п. твердых и хрупких материалов. Известны устройства для обработ ки плоских поверхностей, содержащие( верхний и нижний доводочные диски и механизм нагружения 1 . Недостатками известных устройств являются наличие пневмо- или гидроцилиндров, используемых в качестЕге. механизма нагружения, имекнцих сложную в изготовлении и эксплуатации конструкции, отличающихся громоздкостью, в связи с наличием пневмоблоков или гидроблоков, необходимых для управления цилиндрами и бсольших нагрузок на нижний доводочный диск/ что приводит к увеличению и повышению жесткости нижнего Ьяодочного диска, его привода и станины. Цель изобретения - упрощение конструкции и снижение ее металлоемкости. Цель достигается тем, что механизм нагружения содержит дискретные идентичные магнитные элементы, встр енные внутрь верхнего и нижнего диС ков и расположенные по окружностям, симметричным относительно оси вращения дисков. В одном из дисков упомянутые элементыпредствляют собой постоянные магниты, а. в другом электромагниты, магнитные полюса которых направлены перпендикулярно рабочим поверхностям доводочных дисков. На фиг. 1 изображено устройство для обработки плоских поверхностей деталей, продольный разрез; на фиг.2вид А на фиг. 1. Устройство для обработки плоских поверхностей деталей содержит доводоч ные диски, верхний 1 и нижний 2,.выполненные из немагнитного материала. Внутрь верхнего доводочного диска 1 встроены дискретные идентич- ные-элементы 3, выполненные, например, в В1аде стержней прямоугольной формы и представляющие собой постоянные магниты. Внутрь нижнего дoвo дочного диска 1 встроены магнитные элементы 4 (прямоугольные стержни), представляющие собой электромагниты. В верхний диск 1 и нижний диск 2 мргут быть встроены соответственно электромагниты и постоянные магниты,

Магнитные полюса элементов 3 и ,4 должны быть перпендикулярны к рабочим поверхностям соответствующих доводочных дисков 1 и 2, при этом как стержни 3, расположенные в верхнем доводочном диске 1, так и стержни 4-, расположенные в нижнем доводочном диске 2, размещены по окружности симметричной относительно оси вращения упомянутых дисков. Между доводоч ными дисками 1 и 2 устанавливаются обрабатываемые изделия 5 (например полупроводниковые пластиныJ, которые во время обработки помещаются в сепаратор (на чертеже условно не показано) .

Устройство работает следующим образом.

На электромагниты 4 подается постоянный ток заданной величины такой полярности, при которой на полюсах магнитных стержней 3 и 4, расположенных на рабочих поверхностях доводочных дисков 1 и 2, создаются одноименные полюса. Диски 1 ,,и 2 отталкиваются друг от друга, создавая нулевую нагрузку на обрабатываемые пластины 5. В процессе обработки с помощью электромагнитов 4,размещенных внутри нижнего доводочного диска 2, содается плавное нагружение (от нуля до зал.анной величины) . Это происходит следующим образом. Вначале понижается .- плавно (до нуля) напряжение определенной полярности полюсов электромагнитов 4 а затем производится плавное пойышение напряжения по обратной полярности тока. В результате этого меняются полюса электромагнитов 4 на противоположные и доводочные диски 1 и 2 начинают притягиваться друг к другу что обеспечивает создание заданного усилия нагружения (прижима ).

Процесс разгрузки осуществляется в обратном порядке.

Такое исполнение механизма нагружения позволяет избежать наличия сложных прецизионных элементов, в том числе узлов, содержащих трущиеся прецизионные пары, что упрощает конструкцию устройства в целом. Кроме того, в процессе работы усил.с нагружения не передается на нижний доводоч ный диск, а следовательно, на опорйый подшипник и станину. Это обусловлено замыканием сил, возникающих при нагружении непосредственно между доводочными дисками. На станину станка в этом случае передается только вес доводочного диска, что позволяет уменьщить жесткость станины и металлоемкость устройства в целом. При этом повышается долговечность опорных подшипников и приводного узла.

Формула изобретения

Устройство для обработки плоских поверхностей деталей, содержащее верхний и нижний доводочные диски и

механизм нагружения, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и уменьшения ее металлоемкости, механизм нагружения выполнен в виде встроенных внутрь

верхнего, и нижнего дисков дискретных идентичных магнитных .элементов, расположенных по симметричным относитель но оси вращения дисков окружностям/ при этом в одном из дисков упомянутые

элементы выполнены в виде постоянных магнитов, а в другом - электромагнитов, магнитные полюса которых направлены перпендикулярно рабочим поверхностям доводочных дисков.

Источники информации,

принятые во внимание при экспертизе

1. Проспект фирмы Peter Volters Krafzenfabrik und Maschinenfabrik , a.m.B.H., Co, ФРГ, 1970, с.5.