Способ герметизации газоразрядных приборов Советский патент 1980 года по МПК H01J9/18 

(54) СПОСОБ ГЕРМЕТИЗАЦИИ ГАЗОРАЗРЯДНЫХ ПРИБОРОВ

Изобретение относится к области газоразрядной техники, в частности к герметизации стеклоцемент ом газоразрядных приборов (ГРП), предназ- 5 наченных для отображения информации. Техпроцесс герметизаций состоит из двух последовательных операций: нанесения пасты (шликера стеклоцемента) и термообработки, при которой Ю происходит крист 1ллизация стеклоцемента.

Известен способ герметйзё(ции, когда герметизирующую пасту наносят методом трафаретной печати fl . Указан-15 ный способ осуществим только для нанесения тонких плоских герметизирующих швов ТОЛЩИНОЙ до 110 мкм, что в большинстве случаев недостаточно.

Наиболее близким к данному техни- 20 ческому решению является способ герметизации газоразрядных приборов путем выдавливания пасты на герметизируеNtje детали с последующей их термической обработкой 23 .25

В известном способе герметизеодии шликер стеклоцемента нанорят стеклянной пипеткой, либо выдавливанием из полиэтиленового шприца или тюбика. Указанный способ нанесения пасты не Q

обеспечивает ртабильность давления на выходе пипетки, шприца, в результате чего не удается получить равномерный и достаточно плотный слой пасты в иве. Как следствие, после герметизации получается большое число невакуумноплотн х спаев.

Целью из.обретения является увеличение технологического клхода газоразрядных приборов.

Поставленная цель достигается тем, что давление пасты на выходе устройства поддерживают постоянным, а величину его определяют из соотношения:

3000 V В/ 7000,

где V - скорость нанесения пасты,мм с, Р - давление на выходе устройст.ва, ати,

В - вязкость пасты, с. Объем наносимой пасты на единицу длины шва определяется выход-ным отверстием в устройстве и зависит от вязкости испсзльзуемого шликера, которая определяется соотношением порошка стеклоцемента, и биндера определенной вязкости. При зтом чем большую толщину слоя пасты надо нанести, тем шликер стелоцемента нгщо брать, большей вязкости. Зная скорость нанесеНИИ пастьг, вязкость и, задаваясь кон кретным значением VB/P (из указанног соотношения), определяется давление С которым шликер должен подаваться н место нанесения. Давление, которое должно быть на входе устройства для нанесения шликера, выбирается с учет перепада давления в устройстве и зав сит от его конструкции. При соотношении VB/P боль1ием 7000 слой шликера имеет недостаточную для получения герметичного спая равномерность плотности и приборы после пайки получаются невакуумноплотными. При. соотношени VB/P меньшем 3000 наблюдается эффект разбрызгивания шликера, что также ухудшает равномерность плотности шва. Пример. Нанесение проводилось с помощью устройства с использованием выходного прямоугольно го отверстия 5 X 1,6 мм и шликера вязкостью 400-с. Задаваясь Vb/P 6000 и зная определяем Р, которое равно 0,27 ат Учитывая потери в устройстве, давле ние на входе его создавали равным 0,76 ати. Это позволило получить плоский шов шириной 5±1 мм и высото 1,6 ±1 мм После герметизации по существующ му режиму: Т 460°С и tg,yf 60 мин, шов получали вакуумноплотным. П р и м е р 2. Нанесение проводи лось с помощью устройства с использованием выходного треугольного отверстия и шликера вязкостью 430 с. Задаваясь Vb/P 5000 и зная определяем Р, которое составляет 0,175 ати. Учитывая потери, давлени на входе устрЬйства создали равным 0,75 ати. Это позволило получить угловой герметизирупщий шов с радиальной толщиной 3 мм. Качество спая после герметизгщии по режиму. Т и t 60 мин. удовлетворительное. Таким образом, использование предлагаемого способа нанесения пасты позволит повысить технологический выход приборов. Формула изобретения Способ герметизации газоразрядных приборов путем выдавливания пасты на герметизируемое детали с последующей их термической обработкой, о тличающийся тем, что, с целью увеличения технологического выхода, давление пасты на выходе устройства поддерживают постоянным, а величину его определяют из соотношения:3000 VB/P 7000, лде V - скоростьнанесения пасты, Р - давлениепасты на выходе устройства,ати; В - вязкостьпасты, с. . Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1.Ха Мер Д. и Баггерс Дж. Технология толстостеночных гибридных интегральных схем. , Мир, М., 1975, с. 143. 2.Роэбери Ф., Справочник по вакуумной технике и технологии, М., Энергия, 1972, с. 313 (прототип).