Устройство для двухсторонней очистки плоских изделий Советский патент 1980 года по МПК B08B3/02 H01L21/00 

Устройство содержит моечные элементы 1 и 2 с отверстиями 3 и покрытиями 4 из пористого материала, механизм вращения моечных элементов, имеющий приводы 5, систему подъема 6 (например пневмоцилиндр с рычагом), обеспечивающую подъем и опускание моечного элемента 1, средство для размещения изделий между моечными элементами 1 и 2 - кассету 7, систему подачи 8 моющего раствора, соединенную посредством полых валов 9 и 10 с моечными элементами 1 и 2. Моечный элемент 1 выполнен в виде полого диска, нижний - в виде полого кольца, а покрытие 4 размещено на моечных элементах с зазором. Покрытие 4 натягивают на моечные элементы 1 и 2 посредством колец 11-14. Кольца 11 и 13 с натянутым покрытием из пористого материала установлены в проточках, выполненных на боковой поверхности моечных элементов и крепятся на последних, например, с помощью винтов.

Кассета 7 установлена на центрирующей втулке 15. Диаметр отверстий 3 и их количество на моечных элементах 1 и 2 определяется диаметром полых валов 9 и 10 (подводящих трубопроводов), причем для создания избыточного давления в полостях моечных элементов и, следовательно, обеспечения равномерного натяжения пористого материала покрытия 4 необходимо, чтобы суммарная площадь отверстий 3 не превышала площади сечения подводящего трубопровода.

Устройство работает следующим образом.

Посредством системы подъема 6 верхний моечный элемент 1 поднимают и на нижний моечный элемент 2 с помощью центрирующей втулки 15 устанавливают кассету 7 с полупроводниковыми пластинами 16, например, кремниевыми, прошедшими операцию химико-механической полировки суспензией. Моечный элемент 1 опускают так, чтобы между покрытием 4 из пористого материала верхнего моечного элемента и пластинами 16 оставался небольшой зазор, равный примерно двум толщинам зазора, образованного покрытием 4 и основанием моечного элемента 1 с отверстиями 3, что составляет около 2 мм. Включают систему подачи 8 моющего раствора к моечным элементам, которая закачивает раствор через полые валы 9 и 10 в полости диска i и кольца 2, откуда раствор поступает через отверстия 3 в полости, образованные покрытием 4 и основаниями диска 1 и кольца 2. При этом покрытия 4 натягиваются и образуются гидравлические подущки, прижимающие пластины 16 с двух сторон с равной силой. Включают приводы 5, посредством которых диск 1 и кольцо 2 вращаются в противоположные стороны с равной скоростью, при этом кассета 7 с

пластинами 16 остается неподвижной в силу того, что силы, действующие на кассету с пластинами с противоположных сторон, равны как по величине, так и по направлеПИЮ. Микроструйки моющего раствора пробиваются через поры покрытия 4, очищают с обеих сторон поверхность пластин и уносят загрязнения из зоны очистки. По окончании процесса очистки приводы вращения 5 и систему 8 подачи моющего раствора отключают, диск 1 поднимают носредством системы подъема 6, кольцо 2 вместе с кассетой 7 и пластинами 16 извлекают из устройства. Далее цикл повторяется.

Покрытие выбирается таким, чтобы моющий раствор проходил через нее под давлением. Хорошие результаты в отношении качества очистки получены на замше галантерейной искусственной, а также на батисте.

Предлагаемое устройство позволяет значительно повысить эффективность очистки путем совмещения в единой конструкции

механического и гидравлического способов очистки. При движении покрытия из пористого материала по поверхности пластины загрязнения истираются и сразу же уносятся микроструйками моющего раствора

(например, деионизованной воды), пробивающимися под давлением сквозь пористость покрытия. Это исключает загрязнение покрытия и соответственно вторичное загрязнение полупроводниковой пластины.

Необходимое давление, создаваемое на пластину со стороны гидравлической подушки и определяемое теплом и степенью загрязнения пластины, позволяет создать близкие к идеальным условия для быстрой

и полной очистки любых пластин. Выполнение нижнего моечного элемента в виде нолого кольца и применение центрирующей втулки для установки кассеты с обрабатываемыми пластинами позволяет использовать нижний моечный элемент в качестве транспортного столика и обеспечить возможность его быстрого съема, что в конечном итоге способствует повышению производительности устройства.

Формула изобретения

1. Устройство двусторонней очистки плоских изделий, преимущественно полупроводниковых пластин, содержащее параллельно расположенные один над другим моечные элементы, имеющие на обращенных одна к другой сторонах отверстия и покрытие из пористого материала, механизм вращения моечных элементов и средство для размещения изделий между моечными элементами, верхний из которых выполнен в виде полого диска, отличающееся тем, что, с целью повышения эффективности очистки, нижний моечный элемент выполнен в виде полого кольца, в котором установлено средство для размещения деталей, а покрытие из пористого материала размещено на моечных элементах с зазором.

2. Устройство по п. I, отличающеес я тем, что моечные элементы име;от концентрично и с зазором установленные два

ггг

776665

кольца для зажима между ними покрытия из пористого материала.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Патент США № 3946454 кл. 15-77, 1976.

2.Авторское свидетельство СССР № 630013 кл. В 08В 3/02, 1974 (прототип).