Зондовая головка для измерения электрических параметров микросхем Советский патент 1980 года по МПК H01R13/02 H01R12/04 

(54) ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ МИКРОСХЕМ

Изобретение относится к области радиотехники и может быть использовано при контроле, микросхем на неразрезанной пластине. Известны зондовые головки, содержащие размещенные в диэлектрическом корпусе зонды, в виде заостренных стержней с диэлектрическим покрытием, позвояяюшим уменьшить шаг между зондами Ij. Однако введение диэлектрика между зондами приводит к увеличению паразитных емкостей системы, что значительно ухудц ает ее электрические параметры. Известны зонцовые головки для измерения электрических параметров микросхем содержащие зонды в виде заостренных стержней, соединенные экранированным за земленным коаксиальным кабелем с измерительным прибором, позволящие измерять динамические параметры микросхем на неразрезанной пластине . Однако эти зондовые головки имеют ограниченный частотный диапазон измерения динамических параметров микросхем в области высоких частот из-за наличия значительных: межконтактных паразитных емкостей между открытыми зондами. Цепь изобрегейия - расширение частотного предела измерения динамических параметров микросхем. Поставленная цель достигается тем, что в зондовой головке для измерения электрических параметров микросхем, содержащей размещенные в диэлектрическом корпусе зонды в виде заостренных стержней с диэлектрическим покрытием, соединенных экранированным коаксиальным кабелем с измерительным прибором, каждый зонд снабжен металлической оболочкой, которая размещена на диэлектрическом покрытии, соединена с экраном кабеля и заземлена. На фиг, 1 изображена схема зондовой головки; на фиг. 2 - зонд для измерения электрических параметров микросхем. Зондовая головка содержит диэлектрический корпус 1 с зондодержателями 2, в которых закреплены зонды в виде злое т