Микроинтерферометр Советский патент 1949 года по МПК G01B9/02 G01B11/30 

Предметом изобретения является усовершенствование интерференционных микроскопов, предназначенных для определения весьма малых перемещений или для определения чистоты поверхностей.

Существующие микроинтерферометры имеют тот недостаток, что через их разделительные кубики проходит только один интерферирующий луч, а следовательно, при изменениях параметров этих кубиков с течением времени (вследствие, например, старения бальзама, склеивающего две части кубика) апертуру микрообъектива нельзя полностью использовать.

В предлагаемолг микроинтерферометре этот недостаток устранен тем, что, с целью получения интерференционной картины в бело.м свете и возможности применения более сильных микрообъективов, его интерферометрнческая часть выполнена из двух плоских пластинок, разделенных слоем воздуха и расположенных параллельно или под малым углом одна к другой.

На фиг. 1 схематично изображен микроинтерферометр с осветителем в разрезе; на фиг. 2-ход лучей в интерферометре; на фиг. 3, 4 и 5- различные варианты осуществления

8интерференции света при помощи плоско-параллельных пластинок.

Осветитель / (фиг. 1) отбрасывает луч света через микрообъектив 2 и интерферометр 3 на испытуе.мую поверхность 4. В завис 1мости от характера этой поверхности в картинной плоскости 5 будут наблюдаться интерференционные поло, сы в белом свете.

Интерферометр 3 состоит из полупрозрачного слоя 6 и небольшого зеркального (посеребренного) участка поверхности 7. Полупрозрачный слой нанесен на плоско-параллельные пластинки 8 и9 (фиг. Зи4) или на обе стороны одной пластинки JO (фиг. 5). Пластинки могут быть разделены слое.м воздуха (фиг. 3) и могут не быть разделены (фиг. 4), а также могут быть установлены параллельно или под малым угло.м одна к другой. Для повышения яркости и контрастност; полос, а также для уменьнюния рефлексов непосеребренные -поверхности пластинок просветляются и металлизируются.

Предмет изобретения

Микроинтерферо.метр, о тл и ч а. ю щ и и с я тем, что, с целью полу27.5 чення интерференционной картины в белом свете и возможности применения более сильных микрообъективов, его интерферометрическая часть выполнена из двух плоских пластинок, разделенных слоем возФиг. I духа или же полупрозрачным слоем и расположенных параллельно или под малым углом одна к другой таким образом, чтобы в обеих ветвях микроинтерферометра длина- хода луча была одинакова. Фиг. 3 V iz;y . mrrf( I 7 iL; Jj.

Фиг. 5