Камера объектов для электронно-зондо-ВОгО уСТРОйСТВА Советский патент 1981 года по МПК H01J37/20 

Изобретение охносится к электронно-зондовым устройствам, в частности к камерам для исследования объектов в растровом электронном микрос копе . Известна камера объектов электрон ного микроскопа, в которой детектор рассеянных и вторичных электронов перемещается механизмом в соответствии с движением с.тола объектов, что позволяет повысить точность получаемой информации за счет увеличения сигнала, принимаемого детектором .Ij Недостатком камеры является сложность ее конструкции и невозможность использования необходимого количества детекторов. Наиболее близкой по технической сущности к предлагаемой является камера объектов электронно-зондового устройства, содержгицая стол объектов и закрепленные в корпусе камеры прие ные элементыспектрометрических детекторов рентгеновского и ка одрлюми несцёнтного излучения. В устройстве многомерная информация о взаимодейст вии электронного зонда с выбранной областью объекта регистрируется набо ром детекторов при последовательном наклоне объекта в различных направлениях 2 . Недостатком данно-го устройства является неточность получаемой информации о различных свойствах исследуемой микрозоны объекта, ввиду погрешности в установке ее относительно электронного зонда. Цель изобретения - повышение точности получаемой информации. Цель достигается тем, что в камере объектов электронно-зондовогоустройства, содержащей стол объектов и закрепленные в корпусе камеры приемные элементы спектрометрических детекторов рентгеновского и катодолюминесцентного излучения, корпус камеры .выполнен составным с возможностью вращения одной части камеры относительно другой вокруг оси электронного зонда, причем-приемные элементы детекторов и стол объектов размещены в разных частях корпуса камеры объектов. На чертеже изображена предлагаемая камера, осевое сечение. Корпус камеры объектов для электронно-зондового устройства состоит из вращающейся 1 и неподвижной 2 частей, соединенных между собой с помощью вакуумных уплотнений 3, которые представляют собой резиновые с фторопластовым покрытием прокладки. Между Прокладками образована откачиваемая полость 4, расположенная в неподвижной части 2 корпуса камеры. В кольцевых канавках оснований двух чатей корпуса расположены подшипники 5 качения, обеспечивающие плавность вращения подвижной части 1 корпуса относительно оси. электронного зонда 6, сформированного электррнно-оптической системой 7. Во вращающейся части 1 корпуса .камеры расположены приемные элементы спектрометрически детекторов 8 рентгеновского или катодолюминесцентного излучения, герметично встроенные в окна корпусд. В неподвижной части 2 корпуса расположены стол 9 объектов и другие детекторы 10, например вторичных электронов. В дне неподвижной части камеры расположен патрубок 11, соединенный с вакуумной системой установки.

Устройство работает следующим образом.

Исследуемый объект помещают на стол объектов 9 в неподвижной части 2 корпуса камеры. При воздействии на объект электронного зонда воз-никают известные физические явления, характеризующие свойства исследуемой микрозоны объекта. То-чность получаемой информации об этих свойствах повышается за счет обеспечения возможности сопоставления данных от разнотипных детекторов о различных процессах и явлениях в исследуемой области объекта путем сравнения интенсивностей их угловых распределений при последовательном располох ении приемных элементов детекторов в заданной плоскости. Выполнение корпуса камеры составным дает возможность использовани ПОВО.РОТНЫХ спектрометрических детекторов, имеющих элементы и узлу, которые по габаритам и функциональному назначению не могут быть расположены внутри объема камеры объектов. При этом сохраняется взаимное расположение электронного зонда и объекта, что исключает погрешности перемещения объекта. Кроме того процесс регистрации информации упрощается, так как упрощается процесс устаг овки объекта относительно детекторов.

Предлагаемая камера объектов может быть использована в различных электронно-зондовых устройствах при исследовании физических свойств материалов и веществ, а также проведении технологических операций.

Формула изобретения

Камера рбъейтов электронно-зондовго устройства, содержащая стол объектов и закрепленные в корпусе камеры приемные элементы спектрометрических детекторов рентгеновского и катодолюминесцентного излучения, о т л ичающая.ся тем, , с целью повыщения точности получаемой информации, корпус камеры объектов выполнен составным с возможностью вращения .одной части камеры относительно другой вокруг оси электронного зонда причем приемные элементы детекторов и стол объектов размещены в разных частях корпуса камеры объектов.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Патент США P 3629579) кл.250-49 опублик. 1971.

2.Растровые электронные микроскопы высокого разрешения. Проспект фирмы Ляйтц, ФРГ;1977, с. 14 (прототип) .

11