Изобретение относится к пробирочным центрифугам для фильтрации вязких жидкостей, преимущественно фоторезиста, и может быть использовано для центробежной фильтрации аналогичных вязких жидкостей.
Целью изобретения является улучшение качества разделения фаз.
На фиг. 1 схематично изображен вид пробирки-центрифуги (разрез) перед началом центрифугирования массы; на фиг. 2 общий вид той же пробирки перед оконча нием центрифугирования массы.
Лабораторная центрифуга состоит из горизонтально установленного на валу 1 ротора 2 и закрепленных на нем пробирок 3. поршня 4 с центральным отверстием, в котором укреплена фильтрующая пере/ородка 5 для отделения легкой фазы. Дно каждой пробирки снабжено клапаном б для отвода тяжелого осадка.
Центрифуга работает следующим образом.
При остановленной центрифуге пробирки заполняют центрифугируемой массой 7.
Затем на свободную поверхность разделяе.мой массы устанавливают поршень 4 с фильтрующей перегородкой 5.
При вращении центрифуги пробирка под действием центробежного ускорения принимает горизонтальное положение.
Под действием центробежной силы более тяжелые примеси 8, находящиеся в разделяемой массе, будут перемещаться по направлению действия центробежной силы. Одновременно с зтим перемещается и поршень 4. пропуская через фильтрующую перегородку 5 более легкую жидкую фазу 9. отделившуюся от тяжелых примесей. Тяжелый осадок удаляют при открывании клапана 6 пробирки.
Предложенная центрифуга позволяет производить очистку вязких жидкостей, преимущественно фоторезиста, без потерь, за счет удаления мелких примесей и гелей, значительно увеличивается качество микросхем на операциях фотолитографии.
J
/
Й
i
4 S
-J-vj- -.«
-©
.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Центрифуга для отделения жидкости от примесей | 1984 |
|
SU1236652A1 |
| СПОСОБ ВЫСОКОЭФФЕКТИВНОГО ИЗВЛЕЧЕНИЯ ТВЕРДЫХ ТЯЖЕЛЫХ ПОЛЕЗНЫХ ИСКОПАЕМЫХ | 2018 |
|
RU2694666C1 |
| Способ получения представительных образцов сверхвязкой нефти из нефтенасыщенного керна и устройство для его осуществления | 2016 |
|
RU2636481C1 |
| СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СОДЕРЖАНИЯ НЕРАСТВОРИМЫХ ОСАДКОВ В ОТРАБОТАННЫХ МАСЛАХ | 2008 |
|
RU2393471C1 |
| СПОСОБ ОСВЕТЛЕНИЯ БАРДЫ И ОСВЕТЛЕННАЯ БАРДА, ПОЛУЧЕННАЯ ЭТИМ СПОСОБОМ | 1995 |
|
RU2188859C2 |
| ЛИНИЯ ДЛЯ ПЕРЕРАБОТКИ И УТИЛИЗАЦИИ НЕФТЯНЫХ ШЛАМОВ | 1991 |
|
RU2026831C1 |
| Центрифуга для разделения трехкомпонентной жидкой смеси | 1980 |
|
SU929229A1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЦЕННЫХ ПРОДУКТОВ, В ЧАСТНОСТИ БЕЛКОВ, ИЗ ПРИРОДНОЙ СМЕСИ ВЕЩЕСТВ | 2013 |
|
RU2663129C2 |
| Установка очистки стоков | 2020 |
|
RU2747102C1 |
| Центрифуга для непрерывного выделения легкой фракции из суспензии | 1952 |
|
SU108593A1 |
/
/
| Патент СШАKk 3921898 | |||
| кл | |||
| Очаг для массовой варки пищи, выпечки хлеба и кипячения воды | 1921 |
|
SU4A1 |
| Сплав для отливки колец для сальниковых набивок | 1922 |
|
SU1975A1 |
| Видоизменение прибора для получения стереоскопических впечатлений от двух изображений различного масштаба | 1919 |
|
SU54A1 |
| ЛАБОРАТОРНАЯ ЦЕНТРИФ'УГА ДЛЯ ФИЛЬТРА^ЦИИ ВЯЗКИХ ЖИДКОСТЕЙ, состоящая из гориэюнтально установленного на валу ротора и закрепленных на нем пробирок, отличающаяся тем.что, с целью улучшения качества разделения фаз, в каждой пробирке установлен над пред пола rafeMOH свободной поверхностью разделяемой пробы жидкости поршень с центральным отверстием, в котором укреплена фильтрующая перегородка для отделения легкой фазы, при этом поршень установлен с возможностью перемещения под действием центробежной силы.2 | |||
| Центрифуга поп | |||
| Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
