Устройство для травления микроканальныхплАСТиН Советский патент 1981 года по МПК C03C15/00 

1

Изобретение относится к промышленности строительных материалов, а именно к оборудованию для изготовления стеклянных микроканальных пластин (МКП) и может быть использовано в электронной и онтической промышленности.

Известны устройства для получения микроканальных .пластин вытравливанием растворимой составляюш,ей, содержаш,ие электролитическую ванну с платиновыми электродами 1.

Однако, существующее устройство сложно в исполнении, так как требует применения электролитической ванны с электродами из драгметалла и не позволяет получить чистые каналы малого диаметра, так как при таком пассивном способе травления в микроканалах остаются продукты распада, для удаления которых требуются дополнительные эффективные способы обработки.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является устройство для травления микроканальных пластин, включающее резервуар с крышкой, установленный в нем вертикальный лоток с поперечными кронштейнами, привод и кассеты-держатели 2.

Недостатком известного устройства является длительность процесса вытравливания растворимой составляющей.

Целью изобретения является увеличение интенсивности процесса травления.

Поставленная цель достигается тем, что устройство для травления микроканальных пластин, включающее резервуар с крышкой, установленный в нем вертикальный шток с поперечными кронштейнами, привод и кассеты-держатели, снабжено перемычками, соединяющими кассеты-держатели с поперечными кронштейнами, причем перемычки выполнены из эластичного материала, а длина перемычки составляет 0,1-3,0 диагонали кассеты-держателя.

При этом в качестве эластичного материала для перемычек используют полиэтилен или резину, кассеты-держатели выполнены в виде карманов со сквозными вырезами, имеющих конфигурацию микроканальной пластины, а поперечные кронштейны смещены друг относительно друга на 30-90° и смонтированы на штоке в несколько рядов.

Сущность изобретения поясняется чертежом.

Устройство содержит резервуар 1 с травильным раствором 2, который помещен в водяную баню 3, подогреваемую нагревателем 4. На штоке 5 закреплен поперечный кронштейн 6 с кассетами-держателями 7. Шток приводится в движение электромотором 8. Кассеты-держатели соединены с поперечным кронштейном эластичной перемычкой 9.

Устройство работает следуюш,им образом.

Замкнутый резервуар с травильным раствором необходимой концентрации нагревается до нужной темлературы. Через крышку резервуара вводится шток, на кронштейны которого в кассетах-держателях подвешиваются заготовки МКП. Крышка закрывается, а вертикальный шток выводится через фторопластовую пробку-втулку. Кассеты-держатели соединены с кронштейном эластичными перемычками. Шток вращается при помощи электродвигателя с редуктором. Пакеты с МКП при неподвижном штоке занимают вертикальное положение, а при вращении - горизонтальное, при этом поток травильного раствора направлен вдоль поверхности пластины.

Количество кронштейнов, которые привариваются к щтоку, определяются высотой и шириной сосуда с травящим раствором, т. е. количество пластин, которое одновременно протравливается, составляет несколько десятков штук.

Наличие эластичных перемычек умеиьщает время нахождения заготовок МКП в травильном растворе, поскольку при движении кассет-держателей на эластичной перемычке возникает вибрация, которая способствует более быстрому удаленпю продуктов из каналов.

Применение плотных резиновых кассет позволяет получить технологическую зону крепления МКП, так как в этом месте не производится травление растворимой составляющей МКП.

Формула изобретения

1. Устройство для травления микроканальных пластин, включающее резервуар с крышкой, установленный в нем вертикальный шток с поперечными кронштейнами, привод и кассеты-держатели, отличающееся тем, что, с целью увеличения интенсивности травления, оно снабжено перемычками, соединяющими кассеты-держатели с поперечными кронщтейнами, причем перемычки выполнены из эластичного материала, а длина леремычки составляет 0,1-0,3 диагонали кассеты-держателя.

2. Устройство для травления микроканальных пластин по п. 1, отличающеес я тем, что в качестве эластичного материала для перемычек используют полиэтилен.

3. Устройство для травления микроканальных пластин по п. 1, отличающеес я тем, что в качестве эластичного материала для перемычек используют резину. 4. Устройство для травления микрокаиальиых пластин по п. 1, отличающеес я тем, что кассеты-держатели выполнены в виде карманов со сквозными вырезами, имеющих конфигурацию микроканальной пластины.

5. Устройство для травления микроканальных пластин по п. 1, отличающеес я тем, что поперечные кронштейны смещены друг относительно друга на 30-90° и смонтированы на штоке в несколько рядов.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Патент Великобритании № 1158353, кл. С 1М, 1967.

2.Авторское свидетельство СССР № 546582, кл. С ОЗС 15/00, 1975.

О О О О О О